显示装置的象素修复装置

    公开(公告)号:CN101034214B

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200710086086.4

    申请日:2007-03-09

    Abstract: 本发明公开一种可以更加精密地修复高亮度象素的显示装置的象素修复装置。本发明所提供的显示装置的象素修复装置包含:生成飞秒激光束的激光发生器;使所述飞秒激光束的强度变均匀的光束均化器;聚焦器,用于会聚所述飞秒激光束使其焦点的高度对准显示面板组件上发生高亮度象素(high pixel)现象的位置,所谓高亮度象素现象为在使整个画面变黑而确认是否存在象素缺陷时,因为液晶层存在杂质、配线断路或短路等原因而发生的缺陷部分发亮的现象。

    用于修补平板显示器中的制造缺陷的设备和方法

    公开(公告)号:CN1945384A

    公开(公告)日:2007-04-11

    申请号:CN200610139941.9

    申请日:2006-09-27

    CPC classification number: G02F1/136259

    Abstract: 用于修补显示装置的设备和方法,该显示装置包括其上形成有多条信号线的第一衬底和/或其上形成有多个滤色器的第二衬底,该设备包括辐射出激光的激光器,所述激光具有在大约750至大约850nm或者在大约1000至大约1100nm的范围内的波长且从飞秒(10-15秒)至皮秒(10-12秒)的脉冲宽度,并布置成使得激光能够聚焦在选定的信号线和/或滤色器上。该装置能够仅仅使用单个激光器设备在多个制造测试工序中的任何一个的过程中在显示装置上实施修补,而不需要针对每一个测试工序的额外的或不同的修补装置。

    液晶显示器基板的制造
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1945812B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200610139943.8

    申请日:2006-09-27

    CPC classification number: H01L27/124

    Abstract: 用于制造LCD基板的方法和装置,包括:在底部基板上形成像素开关元件的栅电极;在所述底部基板上形成栅极绝缘层;在所述栅极绝缘层上形成所述开关元件的源电极和漏电极;在所述底部基板上形成保护绝缘层;将激光光束辐射到基板上,以形成使所述漏电极的一小部分曝光的第一接触孔;以及在基板上形成通过所述第一接触孔电连接到所述漏电极的像素电极。所述方法和装置均简化制造LCD基板的过程并使所述过程更加可靠。

    薄膜晶体管基底的制造方法

    公开(公告)号:CN101162710A

    公开(公告)日:2008-04-16

    申请号:CN200710152434.3

    申请日:2007-10-12

    CPC classification number: H01L27/124 H01L27/1288 H01L29/41733

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管(TFT)基底的制造方法,该方法包括:在基底上形成栅极绝缘膜和有源层;在有源层上形成包括第一金属层、第二金属层和第三金属层的数据金属层;在数据金属层上形成第一光致抗蚀剂图案;通过利用第一光致抗蚀剂图案对第三金属层进行干蚀刻;通过利用第一光致抗蚀剂图案对第二金属层和第一金属层同时进行干蚀刻;通过利用第一光致抗蚀剂图案对有源层进行干蚀刻;对第一光致抗蚀剂图案进行蚀刻以形成第二光致抗蚀剂图案,其中,通过第二光致抗蚀剂图案来去除沟道区;通过利用第二光致抗蚀剂图案对数据金属层的沟道区进行干蚀刻来形成源电极和漏电极。

    基板处理装置及方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101013655A

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200610153701.4

    申请日:2006-09-14

    Abstract: 本发明涉及一种利用激光光刻的基板处理装置和方法。根据本发明,提供一种基板处理装置,包括用于在基板上形成薄膜的膜形成单元和用于在薄膜上形成预定图案的激光光刻单元。此外,提供一种基板处理装置,包括用于在基板上涂覆薄膜的涂覆单元和用于在薄膜上形成预定图案的激光光刻单元。此外,提供一种基板处理方法,包括步骤:提供基板;在基板上形成薄膜;以及在相同装置中利用激光构图薄膜。即,在基板处理装置和方法中可采用可由现有技术的光学光刻单元和蚀刻单元替换的激光光刻单元。因此,能够确保图案的三维均匀性,同时精确地形成和控制大基板上的图案。

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