有机薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN1893141A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610087882.5

    申请日:2006-05-26

    CPC classification number: H01L51/105 H01L51/0055 H01L51/052

    Abstract: 本发明的实施方案实例用于制造有机薄膜晶体管,该有机薄膜晶体管包括基片、栅极、栅极绝缘层、金属氧化物源/漏极和有机半导体层,其中金属氧化物源/漏极用含有磺酸基的形成自组装单分子层(SAM)的化合物进行表面处理。根据本发明的实施方案实例,可以将源/漏极的表面改性为更加疏水和/或可以增加构成源/漏极的金属氧化物的功函至高出构成有机半导体层的有机半导体材料的功函。根据本发明的一个或多个实施方案实例制造的有机薄膜晶体管可以显示出较高的载流子迁移率。本发明还披露了包括具有由本发明实施方案实例制成的有机薄膜晶体管的显示器件的各种器件实例。

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