公开(公告)号：CN110579478B

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN201910417361.9

申请日：2019-05-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金洸秀 ,  朴永圭 ,  张城豪 ,  田炳焕

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/25 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 公开了一种执行检验和计量处理的设备和方法。所述设备可包括：工作台，其被被配置为在其上装载基板；传感器，其位于工作台上；物镜，其位于传感器和工作台之间；光源，其产生将通过物镜被发送到基板的照明光；第一带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第一带宽内；以及第二带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第二带宽内，第二带宽小于第一带宽。

公开(公告)号：CN110579478A

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201910417361.9

申请日：2019-05-20

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金洸秀 ,  朴永圭 ,  张城豪 ,  田炳焕

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/25 ,  H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 公开了一种执行检验和计量处理的设备和方法。所述设备可包括：工作台，其被被配置为在其上装载基板；传感器，其位于工作台上；物镜，其位于传感器和工作台之间；光源，其产生将通过物镜被发送到基板的照明光；第一带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第一带宽内；以及第二带滤波部件，其位于光源和物镜之间，以将照明光的波长控制在第二带宽内，第二带宽小于第一带宽。