Patent search ap:("三星电子株式会社") AND inv:"朴升凡" Page 1

1.

发明公开
半导体测量设备

公开(公告)号：CN119170514A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202410429338.2

申请日：2024-04-10

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李虎准 , 成长云 , 金郁来 , 金亨珍 , 朴升凡 , 申俊呼 , 李明俊

IPC: H01L21/66 , G01B11/00 , G01B11/24

Abstract: 一种示例半导体测量设备包括光源、图案生成器、台、图像传感器和控制器。光源被配置为输出预定波段中的光。图案生成器被配置为通过散射从光源输出的光来生成包括散斑图案的光。台设置在包括散斑图案的光的移动路径上，并且反射包括散斑图案的光的样品安置在台上。图像传感器被配置为接收从样品反射的光并且生成表示从样品反射的光的衍射图案的原始图像。控制器被配置为生成用于估计入射在图像传感器上的光的衍射特性的预测图像。

Patent Agency Ranking