公开(公告)号：CN101714550A

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200910253069.4

申请日：2009-09-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 柳正道 ,  金东赞 ,  郑圣勋 ,  崔时荣 ,  申裕均 ,  朴泰绪 ,  柳宗烈 ,  姜宗勋

IPC: H01L27/02 ,  H01L29/78 ,  H01L29/423 ,  H01L21/82 ,  H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L27/108

Abstract: 本发明提供了凹形沟道阵列晶体管、半导体器件及其制造方法。凹形沟道阵列晶体管可以包括衬底、栅极氧化层、栅极电极和源极/漏极区。衬底可以具有有源区和隔离区。凹槽可以形成在有源区中。栅极氧化层可以形成在凹槽和衬底上。栅极氧化层可以包括第一部分和在凹槽的侧表面上的第二部分，该第一部分在凹槽的侧端与有源区的侧壁之间的相交处上。第一部分的厚度可以大于第二部分的厚度的约70％。栅极电极可以形成在栅极氧化层上。源极/漏极区可以形成在衬底中。因此，凹形沟道阵列晶体管可以具有减小的泄漏电流和增大的导通电流。

公开(公告)号：CN101714550B

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN200910253069.4

申请日：2009-09-22

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 柳正道 ,  金东赞 ,  郑圣勋 ,  崔时荣 ,  申裕均 ,  朴泰绪 ,  柳宗烈 ,  姜宗勋

IPC: H01L27/02 ,  H01L29/78 ,  H01L29/423 ,  H01L21/82 ,  H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L27/108

Abstract: 本发明提供了凹形沟道阵列晶体管、半导体器件及其制造方法。凹形沟道阵列晶体管可以包括衬底、栅极氧化层、栅极电极和源极/漏极区。衬底可以具有有源区和隔离区。凹槽可以形成在有源区中。栅极氧化层可以形成在凹槽和衬底上。栅极氧化层可以包括第一部分和在凹槽的侧表面上的第二部分，该第一部分在凹槽的侧端与有源区的侧壁之间的相交处上。第一部分的厚度可以大于第二部分的厚度的约70％。栅极电极可以形成在栅极氧化层上。源极/漏极区可以形成在衬底中。因此，凹形沟道阵列晶体管可以具有减小的泄漏电流和增大的导通电流。