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公开(公告)号:CN101300686A
公开(公告)日:2008-11-05
申请号:CN200680040466.8
申请日:2006-10-19
IPC分类号: H01L31/18
CPC分类号: H01L31/182 , Y02E10/546 , Y02P70/521 , Y10T117/1092
摘要: 本发明涉及一种装置,该装置包括具有底部(2)和侧壁的坩埚(1)。坩埚(1)包括至少一个水平布置于侧壁(3)的底部的横向狭缝(4)。横向狭缝(4)具有大于50mm的宽度,优选地介于100mm和500mm之间。狭缝(4)的宽度(H)介于50和1000微米之间。晶体材料通过横向狭缝(4)从该坩埚输出,以形成晶体带(R)。该方法包括将结晶化核与通过横向狭缝(4)输出的材料接触的步骤,以及带(R)的水平位移步骤(14)。
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公开(公告)号:CN100429333C
公开(公告)日:2008-10-29
申请号:CN200480010351.5
申请日:2004-04-09
申请人: 阿波朗.索拉尔公司 , 西伯斯塔公司 , EFD感应股份有限公司
发明人: 罗兰·艾因豪斯 , 弗朗科伊斯·利萨尔德 , 帕斯卡尔·里瓦特
IPC分类号: C30B11/00
CPC分类号: C30B29/605 , C30B11/002 , Y10S65/08 , Y10S117/90 , Y10T117/10 , Y10T117/1052
摘要: 公开了一种熔炉,平行于基本上垂直于底部(7)延伸的轴,熔炉的底部(7)的传热性质远大于侧壁(8)的传热性质。底部(7)和侧壁(8)是由具有相同主要化学组分的材料形成的。底部(7)对红外辐射是透光的,侧壁(8)对红外辐射是不透光的。底部(7)是由无定形硅石制成的,侧壁(8)是由不透光的石英组成的陶瓷材料制成的。熔炉还可由石墨制成。该设备可包括石墨隔垫板(9)和石墨隔垫板(9)的挤压机构(10),所述石墨隔垫板布置在熔炉底部(7)和冷却机构(4)之间,可在液相中限定8℃/cm至30℃/cm的温度梯度。
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公开(公告)号:CN101356305A
公开(公告)日:2009-01-28
申请号:CN200680050429.5
申请日:2006-12-06
申请人: 阿波朗.索拉尔公司 , 西伯斯塔公司 , EFD感应股份有限公司
IPC分类号: C30B11/00
CPC分类号: C30B11/003 , C30B11/002 , Y10T117/10 , Y10T117/102 , Y10T117/1024 , Y10T117/1068 , Y10T117/1088
摘要: 通过热源(3)和冷却系统在结晶坩埚(1)中建立热梯度。所述冷却系统包括交换器(17)和可调节的附加热源(18)。优选地,所述冷却系统由感应线圈(10)(通过在该感应线圈(10)内循环的冷却剂冷却)和置于所述坩埚(1)和所述感应线圈(10)之间的导电感应感受器(11)构成。所述生产方法包括从顶部对坩埚(1)加热和通过交换器(17)和通过调节可调节的附加热源(18)控制来自坩埚(1)的热量向下排出。
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公开(公告)号:CN1774526A
公开(公告)日:2006-05-17
申请号:CN200480010351.5
申请日:2004-04-09
申请人: 阿波朗.索拉尔公司 , 西伯斯塔公司 , EFD感应股份有限公司
发明人: 罗兰·艾因豪斯 , 弗朗科伊斯·利萨尔德 , 帕斯卡尔·里瓦特
IPC分类号: C30B11/00
CPC分类号: C30B29/605 , C30B11/002 , Y10S65/08 , Y10S117/90 , Y10T117/10 , Y10T117/1052
摘要: 公开了一种熔炉,平行于基本上垂直于底部(7)延伸的轴,熔炉的底部(7)的传热性质远大于侧壁(8)的传热性质。底部(7)和侧壁(8)是由具有相同主要化学组分的材料形成的。底部(7)对红外辐射是透光的,侧壁(8)对红外辐射是不透光的。底部(7)是由无定形硅石制成的,侧壁(8)是由不透光的石英组成的陶瓷材料制成的。熔炉还可由石墨制成。该设备可包括石墨隔垫板(9)和石墨隔垫板(9)的挤压机构(10),所述石墨隔垫板布置在熔炉底部(7)和冷却机构(4)之间,可在液相中限定8℃/cm至30℃/cm的温度梯度。
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公开(公告)号:CN101356305B
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN200680050429.5
申请日:2006-12-06
申请人: 阿波朗·索拉尔公司 , 西伯斯塔公司 , EFD感应股份有限公司
IPC分类号: C30B11/00
CPC分类号: C30B11/003 , C30B11/002 , Y10T117/10 , Y10T117/102 , Y10T117/1024 , Y10T117/1068 , Y10T117/1088
摘要: 通过热源(3)和冷却系统在结晶坩埚(1)中建立热梯度。所述冷却系统包括交换器(17)和可调节的附加热源(18)。优选地,所述冷却系统由感应线圈(10)(通过在该感应线圈(10)内循环的冷却剂冷却)和置于所述坩埚(1)和所述感应线圈(10)之间的导电感应感受器(11)构成。所述生产方法包括从顶部对坩埚(1)加热和通过交换器(17)和通过调节可调节的附加热源(18)控制来自坩埚(1)的热量向下排出。
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