- 专利标题： Device with ion column and scanning electron microscope
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申请号： US16133107申请日： 2018-09-17
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公开(公告)号： US10535496B2公开(公告)日： 2020-01-14
- 发明人: Jaroslav Jiruse , Filip Lopour
- 申请人： TESCAN Brno, s.r.o.
- 申请人地址： CZ Brno
- 专利权人： TESCAN Brno, s.r.o.
- 当前专利权人： TESCAN Brno, s.r.o.
- 当前专利权人地址： CZ Brno
- 代理机构： Hitaffer & Hitaffer, PLLC
- 代理商 Thedford I. Hitaffer
- 优先权： CZ2017-566 20170920
- 主分类号： H01J37/05
- IPC分类号： H01J37/05 ; H01J37/20 ; H01J37/21 ; H01J37/28 ; H01J37/244
摘要：
A device with an ion column and a scanning electron microscope comprises at least one column detector of signal electrons placed inside or on the ion column. Signal generated on the sample is detected on the column detector during landing of a broad beam generated by the scanning electron microscope on the sample surface.
公开/授权文献
- US20190088445A1 Unknown 公开/授权日：2019-03-21
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