发明授权
CN1983026B 半导体装置的硬质掩模用聚合物以及含有该聚合物的组合物
失效 - 权利终止
- 专利标题: 半导体装置的硬质掩模用聚合物以及含有该聚合物的组合物
- 专利标题(英): Polymer for hardmask of semiconductor device and composition containing the same
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申请号: CN200610084286.1申请日: 2006-05-30
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公开(公告)号: CN1983026B公开(公告)日: 2010-12-01
- 发明人: 郑载昌
- 申请人: 海力士半导体有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 海力士半导体有限公司
- 当前专利权人: 海力士半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 封新琴; 巫肖南
- 优先权: 123859/05 2005.12.15 KR
- 主分类号: G03F1/14
- IPC分类号: G03F1/14 ; G03F7/00 ; H01L21/00
摘要:
本发明所披露的是一种用于硬质掩模的聚合物及含有该聚合物的组合物,它们适用于制造下一代的半导体装置。当使用具有强的耐热性的聚酰胺酸形成半导体装置的底层图案时,通过旋涂方法和其它热工艺来形成聚酰胺酸膜,并使用它作为硬质掩模,由此有助于精细图案的蚀刻。
公开/授权文献
- CN1983026A 半导体装置的硬质掩模用聚合物以及含有该聚合物的组合物 公开/授权日:2007-06-20