半导体装置的硬质掩模用聚合物以及含有该聚合物的组合物
摘要:
本发明所披露的是一种用于硬质掩模的聚合物及含有该聚合物的组合物,它们适用于制造下一代的半导体装置。当使用具有强的耐热性的聚酰胺酸形成半导体装置的底层图案时,通过旋涂方法和其它热工艺来形成聚酰胺酸膜,并使用它作为硬质掩模,由此有助于精细图案的蚀刻。
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