发明公开
- 专利标题: 一种隧道结结构的双功能传感器及其制备方法
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申请号: CN202410930007.7申请日: 2024-07-11
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公开(公告)号: CN118882727A公开(公告)日: 2024-11-01
- 发明人: 丁继军 , 赵鹏飞 , 陈海霞 , 傅海威 , 李辉栋 , 高宏 , 刘颖刚
- 申请人: 西安石油大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区电子城街道电子二路东段18号
- 专利权人: 西安石油大学
- 当前专利权人: 西安石油大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区电子城街道电子二路东段18号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 钱宇婧
- 主分类号: G01D21/02
- IPC分类号: G01D21/02 ; H10N30/30 ; H10N30/85 ; H10N30/857 ; H10N30/853 ; H10N30/88 ; B82Y15/00 ; H10N30/02 ; H10N30/076 ; H10N30/081 ; H10N30/092 ; H10N30/06 ; H10N30/87
摘要:
本发明公开了一种隧道结结构的双功能传感器及其制备方法,属于多功能传感器技术领域。该方法以PDMS/Au作为顶部和底部电极,采用磁控溅射技术和水热法构建图案化ZnO NRs阵列作为冷阴极,在PVDF中掺杂GO复合材料对ZnO NRs进行封装,该封装结构同时可作为温度传感器。同时利用砂纸构造微结构弹性薄膜PDMS作为均匀的压力感应层,微结构的设计能够使整个压力感应层感知到更小的压力,提高压力测试范围。最后采用顶部电极‑PDMS压力感应层‑传感层‑底部电极的结构通过PI胶带进行整体封装构成传感器;该传感器同时具备压力传感器和温度传感器的两个作用,为性能较优的双功能传感器。