一种隧道结结构的双功能传感器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种隧道结结构的双功能传感器及其制备方法,属于多功能传感器技术领域。该方法以PDMS/Au作为顶部和底部电极,采用磁控溅射技术和水热法构建图案化ZnO NRs阵列作为冷阴极,在PVDF中掺杂GO复合材料对ZnO NRs进行封装,该封装结构同时可作为温度传感器。同时利用砂纸构造微结构弹性薄膜PDMS作为均匀的压力感应层,微结构的设计能够使整个压力感应层感知到更小的压力,提高压力测试范围。最后采用顶部电极‑PDMS压力感应层‑传感层‑底部电极的结构通过PI胶带进行整体封装构成传感器;该传感器同时具备压力传感器和温度传感器的两个作用,为性能较优的双功能传感器。
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