发明公开
- 专利标题: 一种可见光片上光谱仪及其制备方法
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申请号: CN202311490775.7申请日: 2023-11-10
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公开(公告)号: CN117589300A公开(公告)日: 2024-02-23
- 发明人: 武爱民 , 李昂 , 王茹雪 , 刘向华
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海泰博知识产权代理有限公司
- 代理商 钱文斌
- 主分类号: G01J3/28
- IPC分类号: G01J3/28 ; G01J3/02 ; C23C16/40 ; C23C16/34 ; C23C16/56 ; C23C14/16 ; C23C14/34
摘要:
本发明涉及一种可见光片上光谱仪及其制备方法,其中,片上光谱仪包括:输入耦合器,用于导入可见光;分光器组,输入端与所述输入耦合器的输出端耦合,共有2n个输出端,用于将所述可见光分为2n束;随机波导阵列,由2n个随机波导构成,2n个随机波导的输入端分别与所述分光器的2n个输出端耦合,2n个随机波导的输出端均集成有一个光电探测器;控制器,用于控制所述随机波导的通断形成不同的随机波导采样矩阵,并通过算法重构所述可见光的光谱。