本发明涉及机械扫描技术领域，尤其是一种三维扫描用机械手及其控制方法，包括：三维扫描仪，用于对零件进行扫描测量；机械手，用于为三维扫描仪提供支撑，并带动三维扫描仪向不同的方向移动；支撑座，用于为待扫描零件提供支撑；补光单元，设置在三维扫描仪的底部，用于对零件的内凹面进行照明；通过控制单元控制补光单元移动，使得补光单元对零件的内凹面进行补光，以使得零件的内凹面被光源照亮，有利于辅助三维扫描仪对零件的内凹面进行检测，增强三维扫描仪的扫描效果。