发明公开
- 专利标题: 环形外腔带间级联激光器及其制备方法
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申请号: CN202310920335.4申请日: 2023-07-25
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公开(公告)号: CN116885562A公开(公告)日: 2023-10-13
- 发明人: 鹿希雨 , 管延娇 , 孙瑞轩 , 刘舒曼 , 刘俊岐 , 王利军 , 刘峰奇 , 张锦川 , 翟慎强 , 卓宁
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 肖慧
- 主分类号: H01S5/34
- IPC分类号: H01S5/34 ; H01S5/10 ; H01S5/06 ; H01S5/0683
摘要:
本发明提供一种环形外腔带间级联激光器及其制备方法,包括:带间级联激光器;在带间级联激光器的前腔面侧镀上一层减反膜;带间级联激光器的前腔面侧和后腔面侧分别设置有前腔面直透镜和后腔面直透镜;闪耀光栅,设置于前腔面直透镜的前腔面侧;镀金反射镜组,包括沿闪耀光栅的出射光路上设置的第一镀金反射镜、第二镀金反射镜和第三镀金反射镜;其中,前腔面直透镜、闪耀光栅、第一镀金反射镜、第二镀金反射镜、第三镀金反射镜及后腔面直透镜形成环形光路腔;带间级联激光器的前腔面侧发射出光信号,通过环形光路腔后,从后腔面侧再次入射到带间级联激光器。该装置可比零级衍射光输出的Littrow外腔获得更宽的光谱调谐范围和更大的输出功率。