一种单晶炉及降低单晶炉中硅蒸汽的方法
摘要:
本申请的实施例提供了一种单晶炉及降低单晶炉中硅蒸汽的方法,涉及单晶炉技术领域。该单晶炉包括炉体、坩埚、保温筒、加热器以及水冷硅管;保温筒设置在炉体内,坩埚设置于保温筒内,坩埚内用于盛放熔融硅液,加热器围设于坩埚外,加热器与保温筒之间设置有间隙,水冷硅管设置于间隙内,水冷硅管内用于通入冷却水,且水冷硅管用于供硅蒸气附着;水冷硅管包括依次设置的多个环形管,多个环形管均绕设于坩埚外,环形管之间通过竖直连接管相连通,其不易造成热场中的石墨件、碳碳件侵蚀损伤,也不易出现硅蒸汽与单晶炉内漂浮的其他杂质发生反应形成化合物的情形,也不易引起石墨件发生打火拉弧现象。
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