一种无坩埚制备大尺寸半导体晶体的方法
摘要:
一种无坩埚制备大尺寸半导体晶体的方法,属于半导体材料的制备领域,所述方法包括以下步骤:步骤1、将籽晶和多晶分离设置;步骤2、加热籽晶和多晶远端的端面,端面温度小于半导体的熔点;步骤3、加热籽晶端面是籽晶部分融化,在籽晶端面中心形成初始熔区;步骤4、在垂直于晶籽的方向施加交变磁场;步骤5、在初始熔区区域施加约束磁场;步骤6、多晶与籽晶接触;步骤7、控制远端面温度,多晶持续融化,熔池向多晶方向移动,单晶向多晶方向生长,实现半导体单晶的制备。本发明提出的方法,无需坩埚、生长界面稳定且不受半导体晶体的尺寸的影响,本发明还适用于氧化镓等熔点高且易于与坩埚反应的晶体制备。
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