- 专利标题: Ga2O3-2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器及制备方法
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申请号: CN202211053930.4申请日: 2022-08-31
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公开(公告)号: CN115312617A公开(公告)日: 2022-11-08
- 发明人: 王湛 , 张尔奇 , 王欣媛 , 孙静 , 陈海峰 , 陆琴 , 贾一凡 , 刘祥泰 , 王少青 , 张霞
- 申请人: 西安邮电大学
- 申请人地址: 陕西省西安市长安区韦郭路西安邮电大学
- 专利权人: 西安邮电大学
- 当前专利权人: 西安邮电大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市长安区韦郭路西安邮电大学
- 代理机构: 西安智邦专利商标代理有限公司
- 代理商 王少文
- 主分类号: H01L31/108
- IPC分类号: H01L31/108 ; H01L31/18 ; H01L31/0216 ; H01L31/0224 ; H01L31/032 ; H01L31/0336 ; H01L31/0352
摘要:
本发明涉及宽波段光电探测器件,具体涉及Ga2O3‑2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器及制备方法,用于解决现有氧化镓材料光电探测器暗电流大、偏振灵敏度低、没有设计考量在深紫外偏振领域和宽波段探测范围应用的不足之处。该Ga2O3‑2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器包括氧化镓层、二维金属型材料层,其中氧化镓层与二维金属型材料层形成水平范德华肖特基异质结/垂直范德华肖特基异质结;氧化镓层为β‑Ga2O3单晶薄膜/β‑Ga2O3单晶体材料,由于Ga2O3带隙较宽,为深紫外发光材料,且二维金属型材料具有零带隙,因此本发明可以实现DUV‑MIR的宽波段探测。同时,本发明提供上述Ga2O3‑2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器的制备方法。
IPC分类: