Ga2O3-2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器及制备方法
摘要:
本发明涉及宽波段光电探测器件,具体涉及Ga2O3‑2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器及制备方法,用于解决现有氧化镓材料光电探测器暗电流大、偏振灵敏度低、没有设计考量在深紫外偏振领域和宽波段探测范围应用的不足之处。该Ga2O3‑2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器包括氧化镓层、二维金属型材料层,其中氧化镓层与二维金属型材料层形成水平范德华肖特基异质结/垂直范德华肖特基异质结;氧化镓层为β‑Ga2O3单晶薄膜/β‑Ga2O3单晶体材料,由于Ga2O3带隙较宽,为深紫外发光材料,且二维金属型材料具有零带隙,因此本发明可以实现DUV‑MIR的宽波段探测。同时,本发明提供上述Ga2O3‑2D金属型范德华异质结宽波段偏振光电探测器的制备方法。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31/10 ..特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的,例如光敏晶体管
H01L31/101 ...对红外、可见或紫外辐射敏感的器件
H01L31/102 ....仅以一个势垒或面垒为特征的
H01L31/108 .....为肖特基型势垒的
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