本发明属于半导体工艺制造技术领域，为一种反熔丝单元工艺质量监控测试电路，包括译码器、存储器、灵敏放大器、编程模块、控制模块和电源端口VDD端、VCC端与GND端，所述译码器、存储器和灵敏放大器依次连接在一起，所述灵敏放大器，编程模块和控制模块并联在一起，所述译码器上连接有输入端口Am‑A0端和An‑Am+1端，所述控制模块上连接有PE‑CE‑OE端，所述灵敏放大器和编程模块上并联有输出端口DQn～DQ0，所述存储器上连接有电阻校验端口R1和R2，所述控制模块上设有输入CE端、PE端和OE端，所述译码器上设有输入Am‑A0端和An‑Am+1端；本发明可以有效的监控编程前反熔丝单元工艺缺陷、不同编程电流下反熔丝单元编程电阻特性。