发明公开
- 专利标题: 中红外量子级联激光器以及差频太赫兹外腔反馈光路结构
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申请号: CN202010976708.6申请日: 2020-09-16
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公开(公告)号: CN112072457A公开(公告)日: 2020-12-11
- 发明人: 王欢 , 张锦川 , 程凤敏 , 刘峰奇 , 翟慎强 , 卓宁 , 王利军 , 刘俊岐 , 刘舒曼
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 刘歌
- 主分类号: H01S5/00
- IPC分类号: H01S5/00 ; H01S5/02 ; H01S5/042 ; H01S5/06 ; H01S5/10
摘要:
一种中红外量子级联激光器以及差频太赫兹外腔反馈光路结构,该中红外量子级联激光器包括衬底;有源波导结构,其设置在衬底上,包括第一接触层,其设置在衬底上;第一波导层,其设置在第一接触层上;有源区层单元,其设置在第一波导层上;第二波导层,其设置在有源区层上;以及第二接触层,其设置在第二波导层上;电隔离层,设置在有源波导结构两侧;第一电极层,与第一接触层接触且均设置在衬底上;以及第二电极层,覆盖在电隔离层和第二接触层上。本发明在保证激光器室温连续工作下发射双波长的同时仅转动闪耀光栅角度就可以实现宽调谐。