发明授权
- 专利标题: 3D存储器件及其制造方法
-
申请号: CN202010001957.3申请日: 2020-01-02
-
公开(公告)号: CN111180458B公开(公告)日: 2022-12-02
- 发明人: 李思晢 , 周玉婷 , 汤召辉 , 张磊 , 董明 , 曾凡清
- 申请人: 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
- 专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人: 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
- 代理机构: 北京成创同维知识产权代理有限公司
- 代理商 蔡纯; 冯丽欣
- 主分类号: H01L27/11556
- IPC分类号: H01L27/11556 ; H01L27/11582 ; H01L21/768 ; H01L23/538
摘要:
本申请公开了一种3D存储器件及其制造方法。该3D存储器件的制造方法包括:在具有外围电路区的衬底上形成隔离层;在部分隔离层上形成与外围电路区的位置对应的阻挡层;在隔离层上形成叠层结构,包括交替堆叠的牺牲层与层间绝缘层;形成至少覆盖阻挡层的平坦层;形成贯穿栅叠层结构与隔离层的多个沟道柱;将牺牲层替换为栅极导体层;以及形成穿过平坦层的第一导电通道,其中,形成第一导电通道的步骤包括:刻蚀平坦层形成第一导电通孔,刻蚀在到达阻挡层时停止;以及在第一导电通孔中填充导电材料。该3D存储器件的制造方法通过在对应外围电路区的隔离层上形成阻挡层,在刻蚀平坦层形成第一导电通孔时,阻挡层防止了下方的隔离层与衬底被刻蚀剂损伤。
公开/授权文献
- CN111180458A 3D存储器件及其制造方法 公开/授权日:2020-05-19
IPC分类: