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晶圆加工设备
Abstract:
本发明公开了一种晶圆加工设备,晶圆加工设备包括:晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统,两个晶圆加工系统相对设置且可独立工作,每个晶圆加工系统包括:抛光单元、第一机械手、传输单元、第二机械手和清洗单元,抛光单元和清洗单元相邻设置,清洗单元邻近晶圆缓存模块,第一机械手在晶圆缓存模块和传输单元之间以及传输单元和清洗单元之间运动,传输单元在第一机械手和第二机械手之间传输,第二机械手用于为抛光单元传输晶圆。由此,通过晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统配合,两个晶圆加工系统能够独立工作,互不影响,可以提高生产效率,并且,该晶圆加工设备的工艺更灵活,生产出的晶圆适应性更强。
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