Invention Publication
- Patent Title: 高压MOSFET、半导体结构及其制造方法
- Patent Title (English): Power MOSFETS and methods for manufacturing the same
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Application No.: CN201610915568.5Application Date: 2016-10-21
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Publication No.: CN107026202APublication Date: 2017-08-08
- Inventor: 陈翔裕 , 吴国铭 , 林怡君 , 亚历克斯·卡尔尼茨基
- Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Applicant Address: 中国台湾新竹
- Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾新竹
- Agency: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- Agent 章社杲; 李伟
- Priority: 15/013,747 20160202 US
- Main IPC: H01L29/78
- IPC: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/336

Abstract:
本发明提供了半导体器件及其制造方法。半导体器件包括阱区、第一掺杂区、漏极区、源极区和栅电极。第一导电类型的第一掺杂区位于阱区内的第一侧处。第一导电类型的漏极区位于第一掺杂区内。第一导电类型的源极区位于阱区的第二侧处,其中第二侧与第一侧相对。栅电极位于阱区上方并且位于源极区和漏极区之间。漏极区的表面和源极区的表面限定了沟道,并且源极区的表面与阱区直接接触。本发明的实施例还涉及高压MOSFET、半导体结构及其制造方法。
Public/Granted literature
- CN107026202B 高压MOSFET、半导体结构及其制造方法 Public/Granted day:2020-12-11
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IPC分类: