发明授权

干涉仪光学系统
摘要:
本发明提供的一种干涉仪光学系统,包括光源、聚光镜、滤光片、视场光阑、分光镜、准直镜、移相器、显微物镜、电荷耦合元件,所述光源发出的光线依次经过所述聚光镜、所述滤光片、所述视场光阑、所述分光镜、所述准直镜、所述移相器、进入所述显微物镜,经所述显微物镜的分光面分光后,一部分光线反射到所述显微物镜的参考反射面,经所述参考反射面反射返回,另一部分光线透过所述显微物镜的分光面到达被测面,经被测面反射返回,再次穿过所述分光面后与经所述参考反射面反射的光线重合,发生干涉并经所述分光镜反射后进入所述电荷耦合元件,产生干涉图样,本发明元件少,结构简单,易于保证镜筒机械加工精度,降低装调难度。
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