发明授权
CN106767390B 干涉仪光学系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 干涉仪光学系统
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申请号: CN201611133620.8申请日: 2016-12-10
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公开(公告)号: CN106767390B公开(公告)日: 2019-07-16
- 发明人: 王飞 , 史振广 , 田伟 , 隋永新
- 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 赵勍毅
- 主分类号: G01B9/02
- IPC分类号: G01B9/02 ; G01B11/24
摘要:
本发明提供的一种干涉仪光学系统,包括光源、聚光镜、滤光片、视场光阑、分光镜、准直镜、移相器、显微物镜、电荷耦合元件,所述光源发出的光线依次经过所述聚光镜、所述滤光片、所述视场光阑、所述分光镜、所述准直镜、所述移相器、进入所述显微物镜,经所述显微物镜的分光面分光后,一部分光线反射到所述显微物镜的参考反射面,经所述参考反射面反射返回,另一部分光线透过所述显微物镜的分光面到达被测面,经被测面反射返回,再次穿过所述分光面后与经所述参考反射面反射的光线重合,发生干涉并经所述分光镜反射后进入所述电荷耦合元件,产生干涉图样,本发明元件少,结构简单,易于保证镜筒机械加工精度,降低装调难度。
公开/授权文献
- CN106767390A 干涉仪光学系统 公开/授权日:2017-05-31