一种采用电火花切割技术快速切割CdS单晶体的方法
摘要:
本发明设计一种用于CdS单晶体的切割方法,属于半导体材料的加工领域。步骤如下,用平面磨床将CdS晶锭的生长面磨平;用X射线衍射仪对磨平的端面进行定向;对CdS晶锭进行滚圆,然后进行主参考面和副参考面制作;用真空吸附台将CdS晶锭吸附住,晶锭的主参考面朝下;调整电火花切割机切割参数,对晶锭进行切割;切割完成后,依次采用煤油浸泡、热酒精对切割后的晶片进行冲洗,然后将卡具放在温度为80℃的热水中,使胶软化,将晶片取下,进行下一步操作。采用非接触式的电火花切割技术对n型CdS晶锭进行切割,可以大大的提高切割效率、减少碎片的产生。
0/0