在基体、涂层基体和包含涂层基体的半成品上产生结构化涂层的方法
摘要:
本发明涉及一种在基体、涂层基体和包含涂层基体的半成品上产生结构化涂层的方法。具体地,本发明涉及一种用于在基体上产生结构化涂层的方法,其中所述方法包括如下步骤:提供具有待涂覆表面的基体;以及通过如下方式在基体的待涂覆表面上产生结构化涂层:借助于至少一种气相沉积涂层材料的热蒸发并使用附加结构化在基体的待涂覆表面上沉积至少一种气相沉积涂层材料即氧化铝、二氧化硅、四氮化三硅、或二氧化钛。本发明还涉及一种涂层基体和一种具有涂层基体的半成品。
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