- 专利标题: 在基体、涂层基体和包含涂层基体的半成品上产生结构化涂层的方法
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申请号: CN201610182116.0申请日: 2010-07-22
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公开(公告)号: CN106435485B公开(公告)日: 2020-04-21
- 发明人: 于尔根·莱布 , 乌利·汉森 , 西蒙·毛斯
- 申请人: MSG里松格莱斯有限责任公司
- 申请人地址: 德国德累斯顿
- 专利权人: MSG里松格莱斯有限责任公司
- 当前专利权人: MSG里松格莱斯有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国德累斯顿
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王潜; 郭国清
- 优先权: 102009034532.9 2009.07.23 DE
- 主分类号: C23C14/30
- IPC分类号: C23C14/30 ; C23C14/04 ; C23C14/08 ; C23C14/10 ; C23C14/06 ; H01L21/48 ; H01L23/498
摘要:
本发明涉及一种在基体、涂层基体和包含涂层基体的半成品上产生结构化涂层的方法。具体地,本发明涉及一种用于在基体上产生结构化涂层的方法,其中所述方法包括如下步骤:提供具有待涂覆表面的基体;以及通过如下方式在基体的待涂覆表面上产生结构化涂层:借助于至少一种气相沉积涂层材料的热蒸发并使用附加结构化在基体的待涂覆表面上沉积至少一种气相沉积涂层材料即氧化铝、二氧化硅、四氮化三硅、或二氧化钛。本发明还涉及一种涂层基体和一种具有涂层基体的半成品。
公开/授权文献
- CN106435485A 在基体、涂层基体和包含涂层基体的半成品上产生结构化涂层的方法 公开/授权日:2017-02-22
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