发明公开
- 专利标题: 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极
- 专利标题(英): Discharging electrode used for capillary extreme ultraviolet photoetching light source
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申请号: CN201610378862.7申请日: 2016-05-31
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公开(公告)号: CN105895497A公开(公告)日: 2016-08-24
- 发明人: 徐强 , 赵永蓬 , 王骐
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 黑龙江省工研院资产经营管理有限公司
- 当前专利权人地址: 150027 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区科技创新城创新创业广场9号楼中源大道14955号1单元412室
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 杨晓辉
- 主分类号: H01J61/06
- IPC分类号: H01J61/06 ; G03F7/20
摘要:
一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极,属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中,通过更换不同长度的毛细管的方式,难以满足等离子体长度微调的要求,操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极,包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子,预放电电极为圆筒形结构,主放电电极的一端为圆锥体,中部为一号圆柱体,另一端为二号圆柱体,接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中,二号圆柱体的一个底面为其一端的端面,其另一端设置在圆筒形结构内,两者螺纹连接,并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。
公开/授权文献
- CN105895497B 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极 公开/授权日:2017-10-03