基于碳化硅PIN二极管结构的β辐照闪烁体探测器
Abstract:
本发明公开了一种基于碳化硅PIN二极管结构的β射线闪烁体探测器及其制作方法,主要解决现有技术探测率低、不利于集成、抗辐射性差的问题。本发明的碳化硅PIN二极管型β射线探测器自下而上包括N型欧姆接触电极(8)、N型SiC衬底(7)、N型缓冲层(6)、掺杂浓本征吸收层(5);该本征吸收层(5)中间区域开有窗口,窗口内埋入塑料闪烁体(1),窗口内部区域及窗口上方淀积有一层SiO2反射层(2),本征吸收层(5)两侧上方为P+薄层(4),P+薄层(4)上方为P型欧姆接触电极(3)。该β射线探测器探测率高,利于集成,抗辐射型好,可用于核能中对β射线的探测。
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