晶振的形成方法
摘要:
一种晶振的形成方法,包括:提供第一衬底,所述第一衬底具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;沿第一表面刻蚀第一衬底,形成真空腔和外部开口,其中真空腔的深度小于外部开口深度;提供第二衬底,所述第二衬底表面具有振动晶体;将第一衬底与第二衬底键合,所述真空腔正对振动晶体;沿第二表面减薄第一衬底,其中,第一衬底厚度减去外部开口深度
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