具有双缓变结的Si-Ge-Si半导体结构及其形成方法
摘要:
本发明提出一种具有双缓变结的Si-Ge-Si半导体结构,包括:衬底;形成在所述衬底之上的过渡层或绝缘层;形成在所述过渡层或绝缘层之上的应变SiGe层,其中,所述应变SiGe层中心部分的Ge组分最高,上下两个表面处的Ge组分最低,所述中心部分至所述上下两个表面的Ge组分呈渐变分布。本发明使用缓变结来代替突变结,从而形成三角形的空穴势阱,这样不仅能够使空穴载流子大部分分布于高Ge材料层中,还能够降低界面散射引起的载流子迁移率下降的问题,进一步改善器件性能。
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