Invention Publication
- Patent Title: 一种调节互补金属氧化物半导体的阈值电压的方法
- Patent Title (English): Method for regulating threshold voltage of complementary metal oxide semiconductor
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Application No.: CN200810240827.4Application Date: 2008-12-24
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Publication No.: CN101764094APublication Date: 2010-06-30
- Inventor: 李如东 , 谭志辉 , 谭灿建
- Applicant: 北大方正集团有限公司 , 深圳方正微电子有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- Assignee: 北大方正集团有限公司,深圳方正微电子有限公司
- Current Assignee: 深圳方正微电子有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- Agency: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- Agent 郭润湘
- Main IPC: H01L21/8238
- IPC: H01L21/8238

Abstract:
本发明公开了一种调节互补金属氧化物半导体的阈值电压的方法,主要包括:根据P型金属氧化物半导体的阈值电压VTP,确定P型离子的注入剂量以及能量,并根据确定结果对生成栅氧层后的硅片进行P型离子普注;根据N型金属氧化物半导体的阈值电压VTN以及所述P型离子的注入剂量以及能量,确定N型离子的注入剂量以及能量,并根据确定结果以及对所述硅片进行P阱光刻时使用的P阱光刻版对经过P型离子普注的硅片进行光刻以及N型离子注入。根据该技术方案能够准确地调节VTP以及VTN,并且节约了工艺成本。
Public/Granted literature
- CN101764094B 一种调节互补金属氧化物半导体的阈值电压的方法 Public/Granted day:2012-07-11
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