- 专利标题: 压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法
- 专利标题(英): Method of detecting malfunction of restriction mechanism downstream side valve of pressure flow control device
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申请号: CN200780025188.3申请日: 2007-06-13
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公开(公告)号: CN101484859A公开(公告)日: 2009-07-15
- 发明人: 永濑正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薰 , 杉田胜幸 , 松本笃咨
- 申请人: 株式会社富士金
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 株式会社富士金
- 当前专利权人: 株式会社富士金
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 温大鹏
- 优先权: 183061/2006 2006.07.03 JP
- 国际申请: PCT/JP2007/000630 2007.06.13
- 国际公布: WO2008/004334 JA 2008.01.10
- 进入国家日期: 2008-12-31
- 主分类号: G05D7/06
- IPC分类号: G05D7/06 ; G01F3/22 ; G01F1/00
摘要:
在以往的压力式流量控制装置中,因其机构上流量输出信号的存在而不能判断节流机构下游侧阀的开动作,所以是不良状况。因此,在能够根据压力式流量控制装置的动作时的流量输出信号的变动状态简单地判断节流机构下游侧阀的开放的压力式流量控制装置中,将其节流机构下游侧阀开放并使向压力式流量控制装置输入的流量设定值Qe变动,检测该流量设定值Qe的变动中的来自压力式流量控制装置的流量输出信号Qo的变动的大小ΔV,在该流量输出信号Qo的变动的大小ΔV为规定值以上的情况下,判断节流机构下游侧阀的开放动作是正常的,此外,在上述变动的大小ΔV为规定值以下的情况下,判断开放动作是异常的。
公开/授权文献
- CN101484859B 压力式流量控制装置的节流机构下游侧阀的动作异常检测方法 公开/授权日:2011-03-23