发明公开
- 专利标题: 具有加强物的凸块结构及其制造方法
- 专利标题(英): Protrusion block structure with reinforced object and its making method
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申请号: CN200710001888.0申请日: 2007-02-05
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公开(公告)号: CN101241866A公开(公告)日: 2008-08-13
- 发明人: 黄成棠
- 申请人: 南茂科技股份有限公司
- 申请人地址: 台湾省新竹科学工业园区新竹县研发一路一号
- 专利权人: 南茂科技股份有限公司
- 当前专利权人: 南茂科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 台湾省新竹科学工业园区新竹县研发一路一号
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 左一平
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; H01L23/485
摘要:
本发明公开了一种具有加强物的凸块结构的制造方法。提供一基板,而基板具有多个接垫与一保护层,其中保护层具有多个开口,且各开口分别暴露出相对应的接垫的一部分。在基板上形成一球底金属材料层,以覆盖保护层与保护层所暴露出的接垫。在球底金属材料层上形成多个凸块,其中各凸块的底面积小于开口的底面积。在各凸块周围的球底金属材料层上形成一加强物,其中各加强物分别与凸块接触,且加强物的材质为一聚合物。图案化球底金属材料层,以形成多个球底金属层,其中各球底金属层的底面积大于开口的底面积。因此,此种凸块具有平坦的顶面,可以改善现有技术所具有的城墙效应。
公开/授权文献
- CN101241866B 具有加强物的凸块结构的制造方法 公开/授权日:2010-12-01
IPC分类: