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    ROBOT, CARRIAGE DEVICE, AND CONTROL METHOD USING INERTIA SENSOR
    1.
    发明申请
    ROBOT, CARRIAGE DEVICE, AND CONTROL METHOD USING INERTIA SENSOR 审中-公开

    公开(公告)号：US20160236348A1

    公开(公告)日：2016-08-18

    申请号：US15140890

    申请日：2016-04-28

    申请人： Seiko Epson Corporation

    发明人： Masaki MOTOYOSHI ,  Izumi IIDA

    IPC分类号： B25J9/16

    CPC分类号： B25J9/1633 ,  B25J9/1638 ,  B25J9/1651 ,  G05B2219/39195 ,  G05B2219/41128 ,  G05B2219/42104 ,  G05B2219/42225 ,  Y10S901/09 ,  Y10S901/46

    摘要： A robot includes: an arm; a driving source that pivots the arm; an angle sensor that detects a pivot angle and outputs pivot angle information; an inertia sensor that is attached to the arm and outputs inertial force information; a control command generating unit that outputs a control command defining rotational operation of the arm; a control conversion determining unit that determines whether the inertial force information is used when the driving source is controlled; and an arm operation control unit that performs a first control based on the control command, the pivot angle information, and the inertial force information, if the control conversion determining unit determines that the inertial force information should be used, and performs a second control based on the control command and the pivot angle information, if the control conversion determining unit determines that the inertial force information should not be used.

    Robot, carriage device, and control method using inertia sensor
    2.
    发明授权
    Robot, carriage device, and control method using inertia sensor 有权
    机器人，托架装置和使用惯性传感器的控制方法

    公开(公告)号：US08849456B2

    公开(公告)日：2014-09-30

    申请号：US13890572

    申请日：2013-05-09

    申请人： Seiko Epson Corporation

    发明人： Masaki Motoyoshi ,  Izumi Iida

    IPC分类号： G06F19/00 ,  G05B19/04 ,  B25J9/16

    CPC分类号： B25J9/1633 ,  B25J9/1638 ,  B25J9/1651 ,  G05B2219/39195 ,  G05B2219/41128 ,  G05B2219/42104 ,  G05B2219/42225 ,  Y10S901/09 ,  Y10S901/46

    摘要： A robot includes: an arm; a driving source that pivots the arm; an angle sensor that detects a pivot angle and outputs pivot angle information; an inertia sensor that is attached to the arm and outputs inertial force information; a control command generating unit that outputs a control command defining rotational operation of the arm; a control conversion determining unit that determines whether the inertial force information is used when the driving source is controlled; and an arm operation control unit that performs a first control based on the control command, the pivot angle information, and the inertial force information, if the control conversion determining unit determines that the inertial force information should be used, and performs a second control based on the control command and the pivot angle information, if the control conversion determining unit determines that the inertial force information should not be used.

    摘要翻译： 机器人包括：手臂; 一个枢转臂的驱动源; 角度传感器，其检测枢转角度并输出枢转角度信息; 惯性传感器，其附接到臂并输出惯性力信息; 控制指令生成单元，其输出限定所述臂的旋转动作的控制指令; 控制转换确定单元，其确定在驱动源被控制时惯性力信息是否被使用; 以及臂操作控制单元，如果控制转换确定单元确定应当使用惯性力信息，并且基于控制命令，枢转角度信息和惯性力信息执行基于第二控制的第二控制，则执行第一控制 关于控制命令和枢转角度信息，如果控制转换确定单元确定不应该使用惯性力信息。

    Robot, carriage device, and control method using inertia sensor
    3.
    发明授权
    Robot, carriage device, and control method using inertia sensor 有权
    机器人，托架装置和使用惯性传感器的控制方法

    公开(公告)号：US08463440B2

    公开(公告)日：2013-06-11

    申请号：US12814908

    申请日：2010-06-14

    申请人： Masaki Motoyoshi ,  Izumi Iida

    发明人： Masaki Motoyoshi ,  Izumi Iida

    IPC分类号： G05B15/00 ,  G05B19/04 ,  G05B19/416

    CPC分类号： B25J9/1633 ,  B25J9/1638 ,  B25J9/1651 ,  G05B2219/39195 ,  G05B2219/41128 ,  G05B2219/42104 ,  G05B2219/42225 ,  Y10S901/09 ,  Y10S901/46

    摘要： A robot includes: an arm; a driving source that pivots the arm; an angle sensor that detects a pivot angle and outputs pivot angle information; an inertia sensor that is attached to the arm and outputs inertial force information; a control command generating unit that outputs a control command defining rotational operation of the arm; a control conversion determining unit that determines whether the inertial force information is used when the driving source is controlled; and an arm operation control unit that performs a first control based on the control command, the pivot angle information, and the inertial force information, if the control conversion determining unit determines that the inertial force information should be used, and performs a second control based on the control command and the pivot angle information, if the control conversion determining unit determines that the inertial force information should not be used.

    摘要翻译： 机器人包括：手臂; 一个枢转臂的驱动源; 角度传感器，其检测枢转角度并输出枢转角度信息; 惯性传感器，其附接到臂并输出惯性力信息; 控制指令生成单元，其输出限定所述臂的旋转动作的控制指令; 控制转换确定单元，其确定在驱动源被控制时惯性力信息是否被使用; 以及臂操作控制单元，如果控制转换确定单元确定应当使用惯性力信息，并且基于控制命令，枢转角度信息和惯性力信息执行基于第二控制的第二控制，则执行第一控制 关于控制命令和枢转角度信息，如果控制转换确定单元确定不应该使用惯性力信息。

    FIXED-POSITION STOP CONTROL APPARATUS FOR ROTATION SHAFT
    4.
    发明申请
    FIXED-POSITION STOP CONTROL APPARATUS FOR ROTATION SHAFT 有权
    固定位置控制装置旋转轴

    公开(公告)号：US20070138989A1

    公开(公告)日：2007-06-21

    申请号：US11609880

    申请日：2006-12-12

    申请人： Yasusuke IWASHITA ,  Takahiro AKIYAMA ,  Masakazu NIWA

    发明人： Yasusuke IWASHITA ,  Takahiro AKIYAMA ,  Masakazu NIWA

    IPC分类号： H02P7/00 ,  H02P1/00

    CPC分类号： G05B19/19 ,  G05B2219/42104

    摘要： A fixed-position stop control apparatus (10) includes: a move-instruction generating means (22) for generating a move instruction for each control cycle; a position loop control means (25) for position controlling a rotation shaft (61) for each control cycle according to the move instruction generated by the move-instruction generating means; and a speed loop control means (35) for speed controlling the rotation shaft according to one of a speed instruction generated by a higher level control apparatus (45) and a predetermined speed instruction, thereby switching the speed control of the rotation shaft by the speed loop control means to the position control of the rotation shaft by the position loop control means. In this fixed-position stop control apparatus, the move instruction generated by the move-instruction generating means has acceleration smaller than the acceleration corresponding to the acceleration and deceleration ability of the rotation shaft. With this arrangement, time required for the rotation shaft to stop at a fixed position can be decreased.

    摘要翻译： 固定位置停止控制装置（10）包括：移动指令生成装置（22），用于生成每个控制周期的移动指令; 位置循环控制装置，用于根据由所述移动指令产生装置产生的移动指令对每个控制循环进行位置控制旋转轴; 以及用于根据由上位控制装置（45）产生的速度指令和预定速度指令之一速度控制旋转轴的速度环控制装置（35），从而将旋转轴的速度控制切换到速度 循环控制装置通过位置环控制装置转动到旋转轴的位置控制。 在该固定位置停止控制装置中，由移动指令发生装置产生的移动指令的加速度小于与旋转轴的加速和减速能力对应的加速度。 通过这种布置，可以减少旋转轴在固定位置停止所需的时间。

    Staging apparatus and method, and method for manufacturing the staging apparatus, and exposing apparatus using the staging apparatus
    5.
    发明授权
    Staging apparatus and method, and method for manufacturing the staging apparatus, and exposing apparatus using the staging apparatus 失效
    分级装置和方法以及分级装置的制造方法以及使用分段装置的曝光装置

    公开(公告)号：US5983513A

    公开(公告)日：1999-11-16

    申请号：US122754

    申请日：1998-07-27

    申请人： Atsushi Yamaguchi ,  Shigeru Yamasaki

    发明人： Atsushi Yamaguchi ,  Shigeru Yamasaki

    IPC分类号： B23Q1/00 ,  B23Q1/76 ,  F16F15/02 ,  F16F15/023 ,  F16F15/027 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G05B19/23 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  G01B5/004

    CPC分类号： G03F7/70716 ,  F16F15/02 ,  F16F15/0232 ,  F16F15/027 ,  G03F7/70725 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709 ,  G05B19/232 ,  G05B2219/37376 ,  G05B2219/37388 ,  G05B2219/42104 ,  G05B2219/45027 ,  G05B2219/49048 ,  G05B2219/49176

    摘要： A positioning staging apparatus comprises a base provided on a floor, a stage provided on the base and movable to the base, an output unit for outputting stage positioning information for moving the stage to a predetermined target position, a stage drive unit provided on the base for driving the stage and outputting the drive information, a stage control unit for controlling the stage drive unit to accelerate and decelerate the stage in accordance with the stage positioning information to stop the stage at the target position, a stage displacement detection unit for detecting the displacement of the stage driven by the stage drive unit to output the stage displacement information, and an anti-vibration unit provided between the floor and the base for applying to the base a force to suppress the vibration of the base generated by the movement of the stage. The anti-vibration unit generates the suppression force in accordance with one of the stage displacement information and the stage positioning information. A method for manufacturing a staging apparatus and a method for controlling movement of a stage are also provided.

    摘要翻译： 一种定位分段装置，包括设置在地板上的基座，设置在基座上并可移动到基座的台架，用于输出用于将台架移动到预定目标位置的平台定位信息的输出单元，设置在基座上的平台驱动单元 用于驱动载物台并输出驱动信息的载物台控制单元，用于控制载物台驱动单元根据载物台定位信息来加速和减速载物台以停止在目标位置的载物台位移检测单元， 由舞台驱动单元驱动的舞台的位移以输出舞台位移信息，以及设置在地板和底座之间的防振单元，用于向基座施加力以抑制由于移动而产生的底座的振动 阶段。 防振单元根据台位移信息和平台定位信息之一产生抑制力。 还提供了一种用于制造分级装置的方法和用于控制台的运动的方法。

    Digital servo employing switch mode lead/lag integrator
    8.
    发明授权
    Digital servo employing switch mode lead/lag integrator 失效
    数字伺服采用开关模式导联/滞后积分器

    公开(公告)号：US4893068A

    公开(公告)日：1990-01-09

    申请号：US271477

    申请日：1988-11-15

    申请人： Daniel D. Evans, Jr.

    发明人： Daniel D. Evans, Jr.

    IPC分类号： G05B19/23

    CPC分类号： G05B19/232 ,  G05B2219/37313 ,  G05B2219/41177 ,  G05B2219/41434 ,  G05B2219/42035 ,  G05B2219/42104

    摘要： A digital servo system for causing a mechanical element (48) to track a desired path and hold various positions along the path and employing a lead/lag integrator (18) in parallel with a feedback control loop. The input to the integrator (18) is switched between velocity (V.sub.EK) error during pathtracking and position error (E.sub.K) during holding to increase the resistance of the mechanical element (48) to position changes caused by outside forces during both pathtracking and holding. The integrator function employed uses a term (U.sub.integrator(k-1)) representing a previous integrator output value to assist in smoothing perturbations caused by switching between position and velocity error.

    摘要翻译： 一种数字伺服系统，用于使机械元件（48）跟踪所需路径并保持沿着路径的各种位置并且采用与反馈控制回路并联的引导/滞后积分器（18）。 积分器（18）的输入在轨迹跟踪期间的速度（VEK）误差和保持期间的位置误差（EK）之间切换，以增加机械元件（48）的阻力，以便在轨迹跟踪期间由外力引起的位置变化。 所采用的积分器功能使用表示先前积分器输出值的项（Uintegrator（k-1））来协助由位置和速度误差之间的切换引起的平滑扰动。

    Power transmission
    9.
    发明授权
    Power transmission 失效
    电力传输

    公开(公告)号：US4643074A

    公开(公告)日：1987-02-17

    申请号：US709134

    申请日：1985-03-07

    申请人： Rajamouli Gunda ,  Melvin A. Rode

    发明人： Rajamouli Gunda ,  Melvin A. Rode

    IPC分类号： F15B9/09 ,  F15B9/03 ,  G05B19/19 ,  G05D3/12 ,  F15B13/16

    CPC分类号： G05B19/19 ,  F15B9/03 ,  G05B2219/35438 ,  G05B2219/37314 ,  G05B2219/41309 ,  G05B2219/42104

    摘要： An electrohydraulic servo control system which includes a position feedback loop responsive to actual position at the hydraulic actuator and load, and a position command reference generator responsive to an operator joystick input command and to an operator mode select switch for generating a position command reference signal to the position loop as differing functions of the joystick input in each of the switch-selectable modes. The selectable modes of operation include an absolute position control mode wherein the joystick input is treated as indicating absolute desired position at the actuator and load, an incremental position control mode wherein the joystick input is treated as indicating desired change in position with reference to a base position, and a velocity control mode wherein the joystick input is treated as indicating velocity at the actuator and load desired by the operator.

    摘要翻译： 一种电液伺服控制系统，其包括响应于液压致动器和负载处的实际位置的位置反馈回路和响应于操作者操纵杆输入命令的位置指令参考发生器和用于产生位置指令参考信号的操作员模式选择开关， 位置环作为每个开关可选择模式中的操纵杆输入的不同功能。 可选择的操作模式包括绝对位置控制模式，其中操纵杆输入被视为在致动器和负载处指示绝对所需的位置;增量位置控制模式，其中操纵杆输入被视为指示所需的位置变化，参考基座 位置和速度控制模式，其中操纵杆输入被视为指示执行器处的速度和操作者期望的负载。