公开(公告)号：US20080275584A1

公开(公告)日：2008-11-06

申请号：US12010446

申请日：2008-01-25

申请人： Hiroaki Izumi ,  Katsuhiko Takahashi ,  Katsumi Morikawa

发明人： Hiroaki Izumi ,  Katsuhiko Takahashi ,  Katsumi Morikawa

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31427 ,  G05B2219/32245 ,  G05B2219/32251 ,  G05B2219/32283 ,  G05B2219/32298 ,  G05B2219/32306 ,  G05B2219/32336 ,  G06Q10/06 ,  Y02P90/20

摘要： A production management system has processing devices A, B, C, D, E, and P. A kind of product α is processed in the order of the processing devices A, P, B, P, and C, and a kind of product β is processed in the order of the processing devices D, P, E, and P. To determine whether the processing device P is to be used to produce the product α or the product β, an input ratio of each kind of product is multiplied by the number of times of passing the processing device P for each kind of product, thereby calculating a core of each kind of product. Based on the calculated score, whether the processing device P is to be used to produce the product α or the product β is determined. Accordingly, the work-in-process balance of key processes between different kinds of products can be equalized.

摘要翻译： 生产管理系统具有处理装置A，B，C，D，E和P.按照处理装置A，P，B，P和C的顺序处理一种产品α，以及一种产品 以处理装置D，P，E和P的顺序处理β。为了确定处理装置P是否用于产生产品α或产品β，每种产品的输入比率被乘以 通过每种产品通过处理装置P的次数，从而计算每种产品的核心。 基于计算得分，确定处理装置P是否用于产生产品α或产品β。 因此，可以平衡不同种类产品之间关键流程的在线平衡。

公开(公告)号：US08041441B2

公开(公告)日：2011-10-18

申请号：US12010446

申请日：2008-01-25

申请人： Hiroaki Izumi ,  Katsuhiko Takahashi ,  Katsumi Morikawa

发明人： Hiroaki Izumi ,  Katsuhiko Takahashi ,  Katsumi Morikawa

IPC分类号： G06F19/00 ,  G06K9/00

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B2219/31427 ,  G05B2219/32245 ,  G05B2219/32251 ,  G05B2219/32283 ,  G05B2219/32298 ,  G05B2219/32306 ,  G05B2219/32336 ,  G06Q10/06 ,  Y02P90/20

摘要： A production management system has processing devices A, B, C, D, E, and P. A kind of product α is processed in the order of the processing devices A, P, B, P, and C, and a kind of product β is processed in the order of the processing devices D, P, E, and P. To determine whether the processing device P is to be used to produce the product α or the product β, an input ratio of each kind of product is multiplied by the number of times of passing the processing device P for each kind of product, thereby calculating a core of each kind of product. Based on the calculated score, whether the processing device P is to be used to produce the product α or the product β is determined. Accordingly, the work-in-process balance of key processes between different kinds of products can be equalized.

摘要翻译： 生产管理系统具有处理装置A，B，C，D，E和P.按照处理装置A，P，B，P和C的顺序处理一种产品α，以及一种产品 ＆bgr 以处理装置D，P，E和P的顺序进行处理。为了确定处理装置P是否用于生产产品α或产品＆bgr;每种产品的输入比被乘以 通过每种产品通过处理装置P的次数，从而计算每种产品的核心。 根据计算出的分数，处理装置P是否用于生产产品α或产品＆bgr; 决心，决意，决定。 因此，可以平衡不同种类产品之间关键流程的在线平衡。

公开(公告)号：US09333645B1

公开(公告)日：2016-05-10

申请号：US14639960

申请日：2015-03-05

申请人： Macau University of Science and Technology

发明人： Naiqi Wu ,  Mengchu Zhou ,  Chunrong Pan ,  Yan Qiao

IPC分类号： G05D3/12 ,  B25J9/00 ,  G05B19/418 ,  G06F17/50

CPC分类号： B25J9/0087 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32245 ,  G05B2219/45031 ,  G06F17/5013 ,  H01L21/67742 ,  Y02P90/20 ,  Y10S901/02 ,  Y10S901/41

摘要： A method for scheduling dual-armed cluster tools with wafer revisiting is provided. In order to speed up start-up transient processes, the present invention adopts a program evaluation and review technique for the analysis of start-up transient processes and develops optimization algorithms for their scheduling for dual-arm cluster tools. Then, their complexity is analyzed.

摘要翻译： 提供了一种使用晶片重新访问来调度双机群集工具的方法。 为了加快启动瞬态过程，本发明采用程序评估和审查技术对启动瞬态过程进行分析，并开发了用于双臂集群工具调度的优化算法。 然后分析其复杂性。

公开(公告)号：US09223307B1

公开(公告)日：2015-12-29

申请号：US14639980

申请日：2015-03-05

申请人： Macau University of Science and Technology

发明人： Naiqi Wu ,  Fajun Yang ,  Yan Qiao ,  MengChu Zhou

IPC分类号： G06F19/00 ,  G05B19/418 ,  B25J9/00 ,  G06F17/50

CPC分类号： G05B19/41865 ,  B25J9/009 ,  G05B2219/32245 ,  G05B2219/45032 ,  G06F17/5013 ,  H01L21/67745

摘要： In semiconductor manufacturing, there are wafer fabrication processes in cluster tools that need a wafer to visit some processing steps for more than once, leading to a revisiting process. Also, wafers may be subject to wafer residency time constraints. By considering atomic layer deposition (ALD) as a typical wafer revisiting process, this invention studies the challenging scheduling problem of single-arm cluster tools for the ALD process with wafer residency time constraints. By recognizing that the key to this problem is to schedule the robot tasks, the present invention presents different robot task sequencing strategies. With these strategies for different cases, the present invention performs the schedulability analysis and derives the schedulability conditions for such tools for the first time. If schedulable, the present invention proposes scheduling algorithms to obtain an optimal schedule efficiently. Illustrative examples are given to show the application of the proposed concepts and approach.

摘要翻译： 在半导体制造中，在集群工具中存在晶片制造工艺，其需要晶片多次访问一些处理步骤，导致重新审视过程。 此外，晶片可能受到晶片驻留时间限制。 通过考虑原子层沉积（ALD）作为典型的晶片再访问过程，本发明研究了具有晶圆驻留时间约束的ALD工艺的单臂簇工具的具有挑战性的调度问题。 通过认识到这个问题的关键是计划机器人任务，本发明提出了不同的机器人任务排序策略。 利用这些针对不同情况的策略，本发明首次执行可调度性分析并得出这些工具的可调度条件。 如果可调度，本发明提出调度算法以有效地获得最佳调度。 给出说明性的例子来说明所提出的概念和方法的应用。