公开(公告)号：US08859325B2

公开(公告)日：2014-10-14

申请号：US12987569

申请日：2011-01-10

申请人： Yun-Mi Lee ,  Sang-Soo Kim ,  Chang Mog Jo ,  Hyun-Sook Park

发明人： Yun-Mi Lee ,  Sang-Soo Kim ,  Chang Mog Jo ,  Hyun-Sook Park

IPC分类号： H01L51/40 ,  H01L51/00 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C23C14/04 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243 ,  C23C14/568 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

摘要： A thin film deposition apparatus, a method of manufacturing an organic light-emitting display device by using the thin film deposition apparatus, and an organic light-emitting display device manufactured by using the method. The thin film deposition apparatus includes: a deposition source that discharges a deposition material; a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source and including a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction; a patterning slit sheet disposed opposite to the deposition source nozzle unit and including a plurality of patterning slits having different lengths arranged in the first direction; and a barrier plate assembly disposed between the deposition source nozzle unit and the patterning slit sheet in the first direction, and including a plurality of barrier plates that partition a space between the deposition source nozzle unit and the patterning slit sheet into a plurality of sub-deposition spaces, wherein the thin film deposition apparatus is separated from the substrate by a predetermined distance, and the thin film deposition apparatus and the substrate are movable relative to each other.

摘要翻译： 薄膜沉积装置，使用薄膜沉积装置制造有机发光显示装置的方法以及使用该方法制造的有机发光显示装置。 薄膜沉积设备包括：放电沉积材料的沉积源; 沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并且包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴; 图案化缝隙片，与所述沉积源喷嘴单元相对设置并且包括沿所述第一方向布置的具有不同长度的多个图案化缝隙; 以及阻挡板组件，其在所述第一方向上设置在所述沉积源喷嘴单元和所述图案化缝隙片之间，并且包括将所述沉积源喷嘴单元和所述图案化缝隙片之间的空间分隔成多个子区域的多个阻挡板， 沉积空间，其中所述薄膜沉积设备与所述基板分离预定距离，并且所述薄膜沉积设备和所述基板可相对于彼此移动。

公开(公告)号：US20110168986A1

公开(公告)日：2011-07-14

申请号：US12987569

申请日：2011-01-10

申请人： Yun-Mi Lee ,  Sang-Soo Kim ,  Chang Mog Jo ,  Hyun-Sook Park

发明人： Yun-Mi Lee ,  Sang-Soo Kim ,  Chang Mog Jo ,  Hyun-Sook Park

IPC分类号： H01L51/52 ,  H01L51/56

CPC分类号： H01L51/001 ,  C23C14/042 ,  C23C14/243 ,  C23C14/568 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

摘要： A thin film deposition apparatus, a method of manufacturing an organic light-emitting display device by using the thin film deposition apparatus, and an organic light-emitting display device manufactured by using the method. The thin film deposition apparatus includes: a deposition source that discharges a deposition material; a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source and including a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction; a patterning slit sheet disposed opposite to the deposition source nozzle unit and including a plurality of patterning slits having different lengths arranged in the first direction; and a barrier plate assembly disposed between the deposition source nozzle unit and the patterning slit sheet in the first direction, and including a plurality of barrier plates that partition a space between the deposition source nozzle unit and the patterning slit sheet into a plurality of sub-deposition spaces, wherein the thin film deposition apparatus is separated from the substrate by a predetermined distance, and the thin film deposition apparatus and the substrate are movable relative to each other.

摘要翻译： 薄膜沉积装置，使用薄膜沉积装置制造有机发光显示装置的方法以及使用该方法制造的有机发光显示装置。 薄膜沉积设备包括：放电沉积材料的沉积源; 沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并且包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴; 图案化缝隙片，与所述沉积源喷嘴单元相对设置并且包括沿所述第一方向布置的具有不同长度的多个图案化缝隙; 以及阻挡板组件，其在所述第一方向上设置在所述沉积源喷嘴单元和所述图案化缝隙片之间，并且包括将所述沉积源喷嘴单元和所述图案化缝隙片之间的空间分隔成多个子区域的多个阻挡板， 沉积空间，其中所述薄膜沉积设备与所述基板分离预定距离，并且所述薄膜沉积设备和所述基板可相对于彼此移动。

公开(公告)号：US20110088622A1

公开(公告)日：2011-04-21

申请号：US12907396

申请日：2010-10-19

申请人： Yong-Sup Choi ,  Kang-Il Lee ,  Chang Mog Jo

发明人： Yong-Sup Choi ,  Kang-Il Lee ,  Chang Mog Jo

IPC分类号： C23C16/04

CPC分类号： H01L21/02107 ,  C23C14/04 ,  C23C14/044 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  C23C14/564 ,  C23C16/04 ,  C23C16/042 ,  C23C16/448 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45563

摘要： A thin film deposition apparatus can be simply applied to produce large-sized display devices on a mass scale and improves manufacturing yield. The thin film deposition apparatus for forming a thin film on a substrate includes: a deposition source that discharges a deposition material; a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source and including a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction; and a patterning slit sheet disposed opposite to the deposition source nozzle unit and including a plurality of patterning slits arranged in the first direction; wherein each of the patterning slits includes a plurality of sub-slits.

摘要翻译： 薄膜沉积装置可以简单地应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高制造成品率。 用于在基板上形成薄膜的薄膜沉积装置包括：放电沉积材料的沉积源; 沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并且包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴; 以及图案化缝隙片，与所述沉积源喷嘴单元相对设置并且包括沿所述第一方向布置的多个图案化狭缝; 其中每个图案化缝隙包括多个子狭缝。

公开(公告)号：US08876975B2

公开(公告)日：2014-11-04

申请号：US12907396

申请日：2010-10-19

申请人： Yong-Sup Choi ,  Kang-ll Lee ,  Chang Mog Jo

发明人： Yong-Sup Choi ,  Kang-ll Lee ,  Chang Mog Jo

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/24 ,  C23C16/04 ,  C23C16/448 ,  C23C16/455 ,  H01L21/02 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12 ,  C23C14/56

CPC分类号： H01L21/02107 ,  C23C14/04 ,  C23C14/044 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  C23C14/564 ,  C23C16/04 ,  C23C16/042 ,  C23C16/448 ,  C23C16/4485 ,  C23C16/45563

摘要： A thin film deposition apparatus can be simply applied to produce large-sized display devices on a mass scale and improves manufacturing yield. The thin film deposition apparatus for forming a thin film on a substrate includes: a deposition source that discharges a deposition material; a deposition source nozzle unit disposed at a side of the deposition source and including a plurality of deposition source nozzles arranged in a first direction; and a patterning slit sheet disposed opposite to the deposition source nozzle unit and including a plurality of patterning slits arranged in the first direction; wherein each of the patterning slits includes a plurality of sub-slits.

摘要翻译： 薄膜沉积装置可以简单地应用于大规模生产大尺寸显示装置并提高制造成品率。 用于在基板上形成薄膜的薄膜沉积装置包括：放电沉积材料的沉积源; 沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧，并且包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴; 以及图案化缝隙片，与所述沉积源喷嘴单元相对设置并且包括沿所述第一方向布置的多个图案化狭缝; 其中每个图案化缝隙包括多个子狭缝。