公开(公告)号：US20150130353A1

公开(公告)日：2015-05-14

申请号：US14578575

申请日：2014-12-22

Applicant: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd.

Inventor： Chin-Tsung LIN ,  Hsiao-Yin HSIEH ,  Chi-Hao HUANG ,  Hong-Shing CHOU ,  Yeh-Chieh WANG

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/244 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30405

Abstract: An apparatus for extending the useful life of an ion source, comprising an arc chamber containing a plurality of cathodes to be used sequentially and a plurality of repellers to protect cathodes when not in use. The arc chamber includes an arc chamber housing defining a reaction cavity, gas injection openings, a plurality of cathodes, and at least one repeller element. A method for extending the useful life of an ion source includes providing power to a first cathode of an arc chamber in an ion source, operating the first cathode, detecting a failure or degradation in performance of the first cathode, energizing a second cathode, and continuing operation of the arc chamber with the second cathode.

Abstract translation: 一种用于延长离子源的使用寿命的装置，包括电弧室，其包含要顺序使用的多个阴极，以及多个防水剂，以在不使用时保护阴极。 电弧室包括限定反应腔的电弧室壳体，气体注入开口，多个阴极和至少一个排斥元件。 用于延长离子源的使用寿命的方法包括向离子源中的电弧室的第一阴极提供电力，操作第一阴极，检测第一阴极的故障或性能下降，激励第二阴极，以及 与第二阴极连续操作电弧室。

公开(公告)号：US20140167614A1

公开(公告)日：2014-06-19

申请号：US13719309

申请日：2012-12-19

Applicant: TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： Chin-Tsung LIN ,  Hsiao-Yin HSIEH ,  Chi-Hao HUANG ,  Hong-Hsing CHOU ,  Yeh-Chieh WANG

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J37/244 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/0203 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30405

Abstract: An apparatus for extending the useful life of an ion source, comprising an arc chamber containing a plurality of cathodes to be used sequentially and a plurality of repellers to protect cathodes when not in use. The arc chamber includes an arc chamber housing defining a reaction cavity, gas injection openings, a plurality of cathodes, and at least one repeller element. A method for extending the useful life of an ion source includes providing power to a first cathode of an arc chamber in an ion source, operating the first cathode, detecting a failure or degradation in performance of the first cathode, energizing a second cathode, and continuing operation of the arc chamber with the second cathode.

Abstract translation: 一种用于延长离子源的使用寿命的装置，包括电弧室，其包含要顺序使用的多个阴极，以及多个防水剂，以在不使用时保护阴极。 电弧室包括限定反应腔的电弧室壳体，气体注入开口，多个阴极和至少一个排斥元件。 用于延长离子源的使用寿命的方法包括向离子源中的电弧室的第一阴极提供电力，操作第一阴极，检测第一阴极的故障或性能下降，激励第二阴极，以及 与第二阴极连续操作电弧室。