公开(公告)号：US20160280906A1

公开(公告)日：2016-09-29

申请号：US15076097

申请日：2016-03-21

申请人： TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.

发明人： Tsuyoshi KUROSAWA ,  Tasuku MATSUMIYA ,  Masahito YAHAGI ,  Hitoshi YAMANO ,  Ken MIYAGI ,  Daiju SHIONO ,  Taku HIRAYAMA ,  Katsumi OHMORI

IPC分类号： C08L53/00 ,  C08L33/12

CPC分类号： C08L53/00 ,  B82Y40/00 ,  C08L33/12 ,  C09D133/12 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002

摘要： A method of producing a structure containing a phase-separated structure, which includes mixing a block copolymer which includes a hydrophobic polymer block and a hydrophilic polymer block and is incapable of forming a phase-separated structure, with a homopolymer compatible with the hydrophilic polymer block or a homopolymer compatible with the hydrophobic polymer block.

摘要翻译： 一种制备包含相分离结构的结构的方法，其包括将包含疏水性聚合物嵌段和亲水性聚合物嵌段的嵌段共聚物与不能形成相分离结构的嵌段共聚物与与亲水性聚合物嵌段相容的均聚物 或与疏水性聚合物嵌段相容的均聚物。

公开(公告)号：US20160257838A1

公开(公告)日：2016-09-08

申请号：US15156170

申请日：2016-05-16

申请人： TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.

发明人： Takahiro SENZAKI ,  Ken MIYAGI ,  Tsuyoshi KUROSAWA ,  Daiju SHIONO ,  Tasuku MATSUMIYA ,  Kenichiro MIYASHITA ,  Katsumi OHMORI

IPC分类号： C09D125/14 ,  B05D7/00 ,  B05D3/14 ,  C09D125/02

CPC分类号： C09D125/14 ,  B05D3/145 ,  B05D7/544 ,  C09D125/02 ,  C09D133/02 ,  C09D133/08 ,  C09D133/18 ,  C09D133/22 ,  C09D135/06 ,  C09D143/04 ,  C09J133/06 ,  C09J133/14

摘要： An undercoat agent including a block copolymer having a plurality of blocks bonded formed on a substrate. The undercoat agent contains a resin component that includes a structural unit having an aromatic ring and a structural unit having no aromatic ring, and the resin component includes a group which can interact with the substrate and does not include a 3 to 7-membered, ether-containing cyclic group; and a method of forming a pattern of a layer containing a block copolymer. The method includes applying an undercoat agent to a substrate to form a layer containing the undercoat agent; forming a layer containing a block copolymer having multiple blocks bonded on a surface of the layer containing the undercoat agent, followed by a phase separation of the layer containing the block copolymer; and selectively removing a phase containing at least one block of multiple blocks constituting the block copolymer.

摘要翻译： 一种底涂剂，其包含嵌段共聚物，该嵌段共聚物具有在基材上形成的多个块结合。 底涂剂含有包含具有芳环的结构单元和不具有芳香环的结构单元的树脂组分，该树脂组分包括可与底物相互作用并且不包括3至7元的醚 含环状基团; 以及形成含有嵌段共聚物的层的图案的方法。 该方法包括将底涂剂施用于基材以形成含有底涂剂的层; 形成含有具有多个嵌段的嵌段共聚物的层，所述嵌段共聚物在包含所述底涂层的层的表面上接合，然后分离含有所述嵌段共聚物的层; 并且选择性地除去包含构成嵌段共聚物的至少一个多个嵌段的相。

公开(公告)号：US20160259244A1

公开(公告)日：2016-09-08

申请号：US15153044

申请日：2016-05-12

申请人： TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.

发明人： Naoki YAMASHITA ,  Yoshitaka KOMURO ,  Yoshiyuki UTSUMI ,  Daiju SHIONO

IPC分类号： G03F7/027 ,  C07F7/00

CPC分类号： C08F30/04 ,  C07F7/003 ,  C08F4/06 ,  C08F4/12 ,  C08F4/16 ,  C08F299/0464 ,  C08G18/222 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0042 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/30 ,  G03F7/40

摘要： A negative resist composition including a complex represented by the general formula (1); and a polymerization initiator, in which M represents hafnium (Hf) or zirconium (Zr), X represents a ligand comprising a conjugate base of an acid which has an acid dissociation constant (pKa) of 3.8 or less and has a polymerizable group, Y represents a ligand having no polymerizable group, and n represents an integer of 1 to 4. [MXnY4-n]  (1)

摘要翻译： 包含由通式（1）表示的络合物的负性抗蚀剂组合物; 和其中M表示铪（Hf）或锆（Zr）的聚合引发剂，X表示包含酸解离常数（pKa）为3.8以下且具有聚合性基团的酸的共轭碱的配体，Y 表示不具有聚合性基团的配体，n表示1〜4的整数。[MXnY4-n]（1）