公开(公告)号：US11773849B2

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：US17063912

申请日：2020-10-06

申请人： PFEIFFER VACUUM GMBH

发明人： Michael Willig ,  Jan Hofmann ,  Jonas Becker ,  Gernot Bernhardt ,  Verena Wangorsch ,  Stefan Kallenborn ,  Wolfgang Soehngen ,  Heiko Schaefer ,  Erhard Harapat ,  Lars Pauli

IPC分类号： F04C18/02 ,  F04C29/04 ,  F04C25/02

CPC分类号： F04C18/0215 ,  F04C25/02 ,  F04C29/04 ,  F04C2220/10 ,  F04C2270/18

摘要： The invention relates to a scroll pump comprising a pressure sensor integrated into the scroll pump.