公开(公告)号：US08987679B2

公开(公告)日：2015-03-24

申请号：US13722873

申请日：2012-12-20

申请人： Mapper Lithography IP B.V.

发明人： Johan Joost Koning ,  Stijn Willem Herman Steenbrink ,  Bart Schipper

IPC分类号： H01J37/12 ,  H01J3/18

CPC分类号： H01J3/18 ,  H01J37/12 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/1205 ,  H01J2237/15

摘要： The present invention relates to a projection lens assembly module for directing a multitude of charged particle beamlets onto an image plane located in a downstream direction, and a method for assembling such a projection lens assembly. In particular the present invention discloses a modular projection lens assembly with enhanced structural integrity and/or increased placement precision of its most downstream electrode.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于将多个带电粒子子束引导到位于下游方向的图像平面上的投影透镜组合模块，以及用于组装这种投影透镜组件的方法。 特别地，本发明公开了一种具有增强的结构完整性和/或其最下游电极的放置精度提高的模块化投影透镜组件。