公开(公告)号：US20170074810A1

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：US15352398

申请日：2016-11-15

Applicant: KLA-Tencor Corporation

Inventor： David L. ADLER ,  Kirk Bertsche ,  Mark McCord ,  Stuart Friedman

IPC: G01N23/203 ,  H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  H01J37/28

CPC classification number: G01N23/203 ,  G01N21/956 ,  G01N21/95607 ,  G01N23/20 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2252 ,  G01N2223/304 ,  G01N2223/611 ,  G01N2223/646 ,  G03F1/84 ,  G03F1/86 ,  G03F7/70616 ,  G03F7/7065 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2817

Abstract: A method and apparatus for inspection and review of defects is disclosed wherein data gathering is improved. In one embodiment, multiple or segmented detectors are used in a particle beam system.

Abstract translation: 公开了一种用于检查和检查缺陷的方法和装置，其中提高了数据收集。 在一个实施例中，在粒子束系统中使用多个或分段检测器。