公开(公告)号：US09435826B2

公开(公告)日：2016-09-06

申请号：US13888201

申请日：2013-05-06

Applicant: KLA-Tencor Corporation

Inventor： Walter H. Johnson ,  Jianou Shi ,  Lansheng Dong ,  Haijing Peng ,  Xianghua Liu ,  Jiazhou Jin ,  Zhuoxian Zhang ,  Nanchang Zhu

IPC: G01R31/20 ,  G01R1/067 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R1/06711 ,  G01R1/06733 ,  G01R1/06794 ,  G01R1/073

Abstract: A continuous variable spacing probe pin device, including first and second probe pins. The first and second probe pins are configured to measure a property of a conductive layer. In a first configuration, the first and second probe pins include respective first portions arranged to contact the conductive layer to measure the property. In a second configuration, the first and second probe pins include respective second portions arranged to contact the conductive layer to measure the property. A first area for each respective first portion is different from a second area for each respective second portion.

Abstract translation: 连续可变间距探针引脚装置，包括第一和第二探针。 第一和第二探针被配置成测量导电层的性质。 在第一配置中，第一和第二探针包括相应的第一部分，其布置成与导电层接触以测量该性质。 在第二配置中，第一和第二探针包括相应的第二部分，其布置成接触导电层以测量该性质。 每个相应的第一部分的第一区域与每个相应的第二部分的第二区域不同。

公开(公告)号：US20130300445A1

公开(公告)日：2013-11-14

申请号：US13888201

申请日：2013-05-06

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： Walter H. Johnson ,  Jianou Shi ,  Lansheng Dong ,  Haijing Peng ,  Xianghua Liu ,  Jiazhou Jin ,  Zhuoxian Zhang ,  Nanchang Zhu

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/06711 ,  G01R1/06733 ,  G01R1/06794 ,  G01R1/073

Abstract: A continuous variable spacing probe pin device, including first and second probe pins. The first and second probe pins are configured to measure a property of a conductive layer. In a first configuration, the first and second probe pins include respective first portions arranged to contact the conductive layer to measure the property. In a second configuration, the first and second probe pins include respective second portions arranged to contact the conductive layer to measure the property. A first area for each respective first portion is different from a second area for each respective second portion.

Abstract translation: 连续可变间距探针引脚装置，包括第一和第二探针。 第一和第二探针被配置成测量导电层的性质。 在第一配置中，第一和第二探针包括相应的第一部分，其布置成与导电层接触以测量该性质。 在第二配置中，第一和第二探针包括相应的第二部分，其布置成接触导电层以测量该性质。 每个相应的第一部分的第一区域与每个相应的第二部分的第二区域不同。