公开(公告)号：US4670292A

公开(公告)日：1987-06-02

申请号：US776520

申请日：1985-09-16

申请人： Hiroshi Fujita ,  Naoto Sumida

发明人： Hiroshi Fujita ,  Naoto Sumida

IPC分类号： C23C14/48 ,  C23C8/10 ,  C23C8/60 ,  C23C10/28 ,  C23C12/02 ,  C23C26/00 ,  H01L21/263 ,  B05D3/06

CPC分类号： H01L21/2636 ,  C23C10/28 ,  C23C12/02 ,  C23C26/00 ,  C23C8/10 ,  C23C8/60

摘要： A method for injecting exotic atoms into a solid with electron beams comprises irradiating a material having structure of two layers to which at least one thin film adheres with electron beams, and injecting the exotic atoms into an irradiation region. This method gives desired forms such as crystal, noncrystal, solid solution of the materials, depending on the conditions of electron irradiation.

摘要翻译： 将外来原子注入到具有电子束的固体中的方法包括用具有两层结构的材料照射至少一层薄膜与电子束粘附的材料，并将外来原子注入到照射区域中。 根据电子照射的条件，该方法得到所需的形式，例如晶体，非晶体，材料的固溶体。

公开(公告)号：US4668527A

公开(公告)日：1987-05-26

申请号：US776519

申请日：1985-09-16

申请人： Hiroshi Fujita ,  Naoto Sumida

发明人： Hiroshi Fujita ,  Naoto Sumida

IPC分类号： B01J19/08 ,  C22F1/00 ,  C22F1/02 ,  C23C8/10 ,  C23C8/60 ,  C23C10/28 ,  C23C12/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/18 ,  C23C14/48 ,  C23C16/48 ,  C23C16/50 ,  C23C26/00 ,  H01L21/263 ,  B05D3/06

CPC分类号： C23C8/10 ,  C23C10/28 ,  C23C12/02 ,  C23C14/48 ,  C23C26/00 ,  C23C8/60 ,  H01L21/2636

摘要： A method for amorphizing a material comprises attaching a thin film consisting of exotic atoms to a parent material, irradiating the two layer material under given conditions of irradiation from the side of the thin film with electron beams, and injecting forcibly the exotic atoms into the parent material to change the material into an amorphous material. This method can produce amorphous materials having new functions.

摘要翻译： 材料非晶化的方法包括将由外来原子组成的薄膜附着到母体材料上，在给定的薄膜照射条件下用电子束照射两层材料，并将外来原子强制注入母体 将材料改变为无定形材料的材料。 该方法可以生产具有新功能的无定形材料。