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公开(公告)号：US07536538B1
公开(公告)日：2009-05-19
申请号：US12029361
申请日：2008-02-11
申请人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
发明人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
IPC分类号： G06F15/177
CPC分类号： G05B19/4188 , Y02P90/24
摘要： A method for configuring a plasma cluster tool is disclosed. The method includes generating a key file from option specifications, the key file encapsulating configuration restrictions specifically imposed on the plasma cluster tool. The method also includes generating at least one system-wide configuration file and at least one component-level configuration file using the key file. The method additionally includes generating run-time executable objects from a database of option definition files, the at least one system-wide configuration file and the at least one component-level configuration file. Furthermore, the method includes employing the run-time executable objects to configure the plasma cluster tool.
摘要翻译： 公开了一种用于配置等离子体簇工具的方法。 该方法包括从选项规范生成密钥文件，密钥文件封装特别强加于等离子体集群工具的配置限制。 该方法还包括使用密钥文件生成至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件。 该方法还包括从选项定义文件的数据库，至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件生成运行时可执行对象。 此外，该方法包括采用运行时可执行对象来配置等离子体簇工具。
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公开(公告)号：US07162317B2
公开(公告)日：2007-01-09
申请号：US11098037
申请日：2005-03-31
申请人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
发明人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602
摘要： A method for configuring a specific plasma cluster tool having a plurality of modules. The method includes providing a set of module option definition files, the set of module option definition files containing generic configuration definitions for generic plasma cluster tools. The method further includes providing a set of tool-specific protection information, the set of tool-specific protection information including data that specifically identifies the particular plasma cluster tool for which the configuring is intended. The method further includes providing a set of tool-specific options specifications, the set of tool-specific options specifications specifying options that are specified for the specific plasma cluster tool. The method additionally includes generating a key file, the key file encapsulating configuration restrictions imposed on the specific plasma cluster tool, the key file being configured to be a required file in the configuring the specific plasma tool.
摘要翻译： 一种用于配置具有多个模块的特定等离子体簇工具的方法。 该方法包括提供一组模块选项定义文件，该模块选项定义文件集合包含通用等离子体集群工具的通用配置定义。 该方法还包括提供一组特定于工具的保护信息，该组特定于工具的保护信息包括专门识别用于该配置的特定等离子体簇工具的数据。 该方法还包括提供一组特定于工具的选项规范，该组指定特定选项规范指定为特定等离子体簇工具指定的选项。 该方法还包括生成密钥文件，密钥文件封装对特定等离子体簇工具施加的配置限制，密钥文件被配置为配置特定等离子体工具中的所需文件。
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公开(公告)号：US20060206223A1
公开(公告)日：2006-09-14
申请号：US11097839
申请日：2005-03-31
申请人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
发明人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602 , Y10S438/907 , Y10S438/908
摘要： A method for configuring a plasma cluster tool is disclosed. The method includes generating a key file from option specifications, the key file encapsulating configuration restrictions specifically imposed on the plasma cluster tool. The method also includes generating at least one system-wide configuration file and at least one component-level configuration file using the key file. The method additionally includes generating run-time executable objects from a database of option definition files, the at least one system-wide configuration file and the at least one component-level configuration file. Furthermore, the method includes employing the run-time executable objects to configure the plasma cluster tool.
摘要翻译： 公开了一种用于配置等离子体簇工具的方法。 该方法包括从选项规范生成密钥文件，密钥文件封装特别强加于等离子体集群工具的配置限制。 该方法还包括使用密钥文件生成至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件。 该方法还包括从选项定义文件的数据库，至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件生成运行时可执行对象。 此外，该方法包括采用运行时可执行对象来配置等离子体簇工具。
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公开(公告)号：US07542820B2
公开(公告)日：2009-06-02
申请号：US11536582
申请日：2006-09-28
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G06N5/022 , G05B2219/32097 , G05B2219/45031
摘要： A method for affecting a creation of a recipe for processing a substrate in a processing system. The method includes providing a best-known method driven recipe editor. The best-known method driven recipe editor incorporates best-known methods (BKMs), which are best practice specifications for the recipe. The method also includes creating a plurality of BKM modules based on the BKMs for the recipe. The method further includes defining rules for parameters in the plurality of BKM modules. The rules are propagated by the BKMs. The methods moreover includes creating a BKM driven recipe by employing the best-known method driven recipe editor to enter values for the parameters within the guidelines of BKM rules.
摘要翻译： 一种用于影响在处理系统中处理衬底的配方的创建的方法。 该方法包括提供最着名的方法驱动的食谱编辑器。 最着名的方法驱动的食谱编辑器包含最着名的方法（BKM），这是方法的最佳实践规范。 该方法还包括基于用于配方的BKM创建多个BKM模块。 该方法还包括为多个BKM模块中的参数定义规则。 规则由BKM传播。 方法还包括通过采用最着名的方法驱动的配方编辑器来创建BKM驱动的配方，以便在BKM规则的指导下输入参数的值。
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公开(公告)号：US07353379B2
公开(公告)日：2008-04-01
申请号：US11097839
申请日：2005-03-31
申请人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
发明人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
IPC分类号： G06F15/177
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602 , Y10S438/907 , Y10S438/908
摘要： A method for configuring a plasma cluster tool is disclosed. The method includes generating a key file from option specifications, the key file encapsulating configuration restrictions specifically imposed on the plasma cluster tool. The method also includes generating at least one system-wide configuration file and at least one component-level configuration file using the key file. The method additionally includes generating run-time executable objects from a database of option definition files, the at least one system-wide configuration file and the at least one component-level configuration file. Furthermore, the method includes employing the run-time executable objects to configure the plasma cluster tool.
摘要翻译： 公开了一种用于配置等离子体簇工具的方法。 该方法包括从选项规范生成密钥文件，密钥文件封装特别强加于等离子体集群工具的配置限制。 该方法还包括使用密钥文件生成至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件。 该方法还包括从选项定义文件的数据库，至少一个系统范围的配置文件和至少一个组件级配置文件生成运行时可执行对象。 此外，该方法包括采用运行时可执行对象来配置等离子体簇工具。
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公开(公告)号：US20080188970A1
公开(公告)日：2008-08-07
申请号：US11536582
申请日：2006-09-28
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G06N5/022 , G05B2219/32097 , G05B2219/45031
摘要： A method for affecting a creation of a recipe for processing a substrate in a processing system is provided. The method includes providing a best-know method driven recipe editor. The best-known method driven recipe editor incorporates best-known methods (BKMs), which are best practice specifications for the recipe. The method also includes creating a plurality of BKM modules based on the BKMs for the recipe. The method further includes defining rules for parameters in the plurality of BKM modules. The rules are propagated by the BKMs. The methods moreover includes creating a BKM driven recipe by employing the best-known method driven recipe editor to enter values for the parameters within the guidelines of BKM rules.
摘要翻译： 提供了一种用于影响在处理系统中处理衬底的配方的创建的方法。 该方法包括提供最知名的方法驱动的食谱编辑器。 最着名的方法驱动的食谱编辑器包含最着名的方法（BKM），这是方法的最佳实践规范。 该方法还包括基于用于配方的BKM创建多个BKM模块。 该方法还包括为多个BKM模块中的参数定义规则。 规则由BKM传播。 方法还包括通过采用最着名的方法驱动的配方编辑器来创建BKM驱动的配方，以便在BKM规则的指导下输入参数的值。
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公开(公告)号：US20060194351A1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：US11098037
申请日：2005-03-31
申请人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
发明人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan , Chin-Chuan Chang
IPC分类号： G05D29/00
CPC分类号： G05B19/0426 , G05B2219/23195 , G05B2219/23255 , G05B2219/24167 , G05B2219/25066 , G05B2219/25076 , G05B2219/25314 , G05B2219/2602
摘要： A method for configuring a specific plasma cluster tool having a plurality of modules. The method includes providing a set of module option definition files, the set of module option definition files containing generic configuration definitions for generic plasma cluster tools. The method further includes providing a set of tool-specific protection information, the set of tool-specific protection information including data that specifically identifies the particular plasma cluster tool for which the configuring is intended. The method further includes providing a set of tool-specific options specifications, the set of tool-specific options specifications specifying options that are specified for the specific plasma cluster tool. The method additionally includes generating a key file, the key file encapsulating configuration restrictions imposed on the specific plasma cluster tool, the key file being configured to be a required file in the configuring the specific plasma tool.
摘要翻译： 一种用于配置具有多个模块的特定等离子体簇工具的方法。 该方法包括提供一组模块选项定义文件，该模块选项定义文件集合包含通用等离子体集群工具的通用配置定义。 该方法还包括提供一组特定于工具的保护信息，该组特定于工具的保护信息包括专门识别用于该配置的特定等离子体簇工具的数据。 该方法还包括提供一组特定于工具的选项规范，该组指定特定选项规范指定为特定等离子体簇工具指定的选项。 该方法还包括生成密钥文件，封装在特定等离子体簇工具上施加的配置限制的密钥文件，密钥文件被配置为配置特定等离子体工具中的所需文件。
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公开(公告)号：US20080082653A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：US11536585
申请日：2006-09-28
申请人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan
发明人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan
IPC分类号： G06F15/173
CPC分类号： G05B23/0221 , H01J37/32935 , H04L67/12
摘要： A targeted data collection system configured to collect processing data in a plasma processing system is provided. The system includes a data collection host and a plurality of plasma processing components having a plurality of sensors such that each of the plurality of plasma processing components having at least one sensor. Each of the sensors implements at least one intelligent targeted data agent that governs sensor data collection behavior. The system further includes a communication network coupling data collection host and plurality of sensors for bi-directional communication such that a given sensor of plurality of sensors receive information from data collection host pertaining to plasma processing system conditions occurring elsewhere from given sensor. Information received from data collection host causes the given processor to collect sensor in a first manner different from a second manner employed by sensor prior to receiving e information from the data collection host.
摘要翻译： 提供了一种被配置为收集等离子体处理系统中的处理数据的目标数据收集系统。 该系统包括数据收集主机和具有多个传感器的多个等离子体处理部件，使得多个等离子体处理部件中的每一个具有至少一个传感器。 每个传感器实现至少一个控制传感器数据收集行为的智能目标数据代理。 该系统还包括耦合数据收集主机和用于双向通信的多个传感器的通信网络，使得多个传感器的给定传感器从与来自给定传感器的别处发生的等离子体处理系统状况相关的数据收集主机接收信息。 从数据收集主机接收到的信息使得给定的处理器在从数据收集主机接收到e信息之前以与传感器采用的第二种方式不同的第一种方式收集传感器。
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公开(公告)号：US07565220B2
公开(公告)日：2009-07-21
申请号：US11536585
申请日：2006-09-28
申请人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan
发明人： Chung-Ho Huang , Shih-Jeun Fan
IPC分类号： G06F19/00
CPC分类号： G05B23/0221 , H01J37/32935 , H04L67/12
摘要： A targeted data collection system configured to collect processing data in a plasma processing system is provided. The system includes a data collection host and a plurality of plasma processing components having a plurality of sensors such that each of the plurality of plasma processing components having at least one sensor. Each of the sensors implements at least one intelligent targeted data agent that governs sensor data collection behavior. The system further includes a communication network coupling data collection host and plurality of sensors for bi-directional communication such that a given sensor of plurality of sensors receive information from data collection host pertaining to plasma processing system conditions occurring elsewhere from given sensor. Information received from data collection host causes the given sensor to collect at least a portion of the processing data in a first manner different from a second manner employed by sensor prior to receiving e information from the data collection host.
摘要翻译： 提供了一种被配置为收集等离子体处理系统中的处理数据的目标数据收集系统。 该系统包括数据采集主机和具有多个传感器的多个等离子体处理部件，使得多个等离子体处理部件中的每一个具有至少一个传感器。 每个传感器实现至少一个控制传感器数据收集行为的智能目标数据代理。 该系统还包括耦合数据收集主机和用于双向通信的多个传感器的通信网络，使得多个传感器的给定传感器从与来自给定传感器的别处发生的等离子体处理系统状况相关的数据收集主机接收信息。 从数据收集主机接收的信息使得给定的传感器以在从数据收集主机接收到e信息之前不同于传感器采用的第二方式的第一方式收集处理数据的至少一部分。
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