公开(公告)号：US20140301932A1

公开(公告)日：2014-10-09

申请号：US14350543

申请日：2012-10-09

申请人： ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.

发明人： Oleg Byl ,  Edward E. Jones ,  Chiranjeevi Pydi ,  Joseph D. Sweeney

IPC分类号： C01B35/06

CPC分类号： C01B35/061 ,  B01J3/03 ,  B01J7/00 ,  B01J15/00 ,  B01J19/0073 ,  B01J19/129 ,  B01J2219/00094 ,  B01J2219/00148 ,  B01J2219/0254 ,  B01J2219/0272 ,  B01J2219/0277 ,  B01J2219/0886 ,  Y02P20/149

摘要： A reaction system and method for preparing compounds or intermediates from solid reactant materials is provided. In a specific aspect, a reaction system and methods are provided for preparation of boron-containing precursor compounds useful as precursors for ion implantation of boron in substrates. In another specific aspect, a reactor system and methods are provided for manufacture of boron precursors such as B2F4.

摘要翻译： 提供了一种从固体反应物料制备化合物或中间体的反应体系和方法。 在具体方面，提供了一种反应体系和方法，用于制备可用作在底物中硼离子注入的前体的含硼前体化合物。 在另一具体方面，提供反应器系统和方法来制造硼前体例如B2F4。