公开(公告)号：US06603562B1

公开(公告)日：2003-08-05

申请号：US09692960

申请日：2000-10-21

申请人： Yutaka Ono ,  Shigeru Hashida ,  Yutaka Koizumi ,  Fumio Kaiho ,  Yasuhito Kosugi ,  Ryuichi Jimbo ,  Atsufumi Kimura

发明人： Yutaka Ono ,  Shigeru Hashida ,  Yutaka Koizumi ,  Fumio Kaiho ,  Yasuhito Kosugi ,  Ryuichi Jimbo ,  Atsufumi Kimura

IPC分类号： G01B1102

CPC分类号： G03F7/70716 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02021 ,  G01B9/02081 ,  G01B2290/70 ,  G03F7/70775 ,  G05B19/231 ,  G05B2219/37275 ,  G05B2219/49276 ,  H02K11/00 ,  H02K41/033 ,  H02K2201/18

摘要： A two-dimensional positioning apparatus for positioning an object in a two dimensional direction, wherein are provided a platen, a slider having two X-axis motors and sensors and a Y-axis motor and sensor disposed above the platen, a converter for providing signals to detect the X-axis position of the center point of the slider, a controller for feedback control of the slider in a X-axis direction and a yaw direction, and for feedback control in the Y-direction, and a converter circuit for converting output of the controller to propulsion commands to be supplied to the motors, wherein a limiter is provided to restrict one axis limits of the propulsion commands. In this manner, accuracy is improved and flexibility is increased.

摘要翻译： 一种用于在二维方向上定位物体的二维定位装置，其中设置有压板，具有两个X轴电动机和传感器的滑块和设置在压板上方的Y轴电机和传感器，用于提供信号的转换器 检测滑块的中心点的X轴位置，用于在X轴方向和偏航方向上反馈控制滑块的控制器，以及用于在Y方向上的反馈控制的转换器电路，以及用于转换 将控制器输出到要提供给电动机的推进命令，其中提供限制器以限制推进命令的一个轴限制。 以这种方式，提高精度并提高灵活性。