公开(公告)号：US20090185148A1

公开(公告)日：2009-07-23

申请号：US12358722

申请日：2009-01-23

Applicant: Yim-Bun Patrick Kwan ,  Stefan Xalter ,  Herman M.J.R. Soemers ,  R. de Weerdt ,  A.F. Benschop ,  Bernard Stommen ,  Frans van Deuren

Inventor： Yim-Bun Patrick Kwan ,  Stefan Xalter ,  Herman M.J.R. Soemers ,  R. de Weerdt ,  A.F. Benschop ,  Bernard Stommen ,  Frans van Deuren

IPC: G03B27/32 ,  G02B7/02

CPC classification number: G03F7/70916 ,  G02B7/023 ,  G03F7/70141 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70266 ,  G03F7/70825

Abstract: The disclosure relates to a support structure for an optical element and an optical element module including such a support structure. The disclosure also relates to a method of supporting an optical element. The disclosure may be used in the context of photolithography processes for fabricating microelectronic devices, such as semiconductor devices, or in the context of fabricating devices, such as masks or reticles, used during such photolithography processes.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于光学元件的支撑结构和包括这种支撑结构的光学元件模块。 本公开还涉及一种支持光学元件的方法。 本公开可以用于制造微电子器件（例如半导体器件）的光刻工艺，或者在制造在这种光刻工艺期间使用的器件（例如掩模或掩模版）的上下文中。