公开(公告)号：US06812193B2

公开(公告)日：2004-11-02

申请号：US10231047

申请日：2002-08-30

申请人： Michael Todd Brigham ,  Donald Francis Canaperi ,  Michael Addison Cobb ,  William Cote ,  Kenneth Morgan Davis ,  Scott Alan Estes ,  Edward Jack Gordon ,  James Willard Hannah ,  Mahadevaiyer Krishnan ,  Michael Francis Lofaro ,  Michael Joseph MacDonald ,  Dean Allen Schaffer ,  George James Slusser ,  James Anthony Tornello ,  Eric Jeffrey White

发明人： Michael Todd Brigham ,  Donald Francis Canaperi ,  Michael Addison Cobb ,  William Cote ,  Kenneth Morgan Davis ,  Scott Alan Estes ,  Edward Jack Gordon ,  James Willard Hannah ,  Mahadevaiyer Krishnan ,  Michael Francis Lofaro ,  Michael Joseph MacDonald ,  Dean Allen Schaffer ,  George James Slusser ,  James Anthony Tornello ,  Eric Jeffrey White

IPC分类号： C09K1300

CPC分类号： C11D3/046 ,  C11D7/34 ,  C11D11/0047 ,  H01L21/3212

摘要： Slurry compositions comprising an oxidizing agent, optionally a copper corrosion inhibitor, abrasive particles; surface active agent, a service of chloride and a source of sulfate ions.

摘要翻译： 包含氧化剂，任选的铜腐蚀抑制剂，磨料颗粒的浆料组合物; 表面活性剂，氯化物和硫酸根离子的使用。