公开(公告)号：US20120021552A1

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：US13171089

申请日：2011-06-28

申请人： Paul Alexander ,  Jurg Schmitzberger ,  Ashish Tandon ,  Robert D. Wieting

发明人： Paul Alexander ,  Jurg Schmitzberger ,  Ashish Tandon ,  Robert D. Wieting

IPC分类号： H01L31/18 ,  B25B11/00

CPC分类号： H01L21/67316 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67313 ,  H01L21/6734 ,  H01L31/18

摘要： A method of supporting a plurality of planar substrates in a tube shaped furnace for conducting a thermal treatment process is disclosed. The method uses a boat fixture having a base frame including two length portions and a first width portion, a second width portion, and one or more middle members connected between the two length portions. Additionally, the method includes mounting a removable first grooved rod respectively on the first width portion, the second width portion, and each of the one or more middle members, each first grooved rod having a first plurality of grooves characterized by a first spatial configuration. The method further includes inserting one or two substrates of a plurality of planar substrates into each groove in the boat fixture separated by a distance.

摘要翻译： 公开了一种在管状炉中支撑多个平面基板以进行热处理工艺的方法。 该方法使用具有包括两个长度部分的基部框架和第一宽度部分，第二宽度部分以及连接在两个长度部分之间的一个或多个中间部件的船舶固定装置。 另外，该方法包括分别在第一宽度部分，第二宽度部分和一个或多个中间部件中的每一个上安装可拆卸的第一带槽杆，每个第一带槽杆具有以第一空间构造为特征的第一多个凹槽。 该方法还包括将多个平面基板中的一个或两个基板插入分隔开一定距离的船夹具中的每个凹槽中。

公开(公告)号：US08461061B2

公开(公告)日：2013-06-11

申请号：US13171089

申请日：2011-06-28

申请人： Paul Alexander ,  Jurg Schmitzberger ,  Ashish Tandon ,  Robert D. Wieting

发明人： Paul Alexander ,  Jurg Schmitzberger ,  Ashish Tandon ,  Robert D. Wieting

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/67316 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67313 ,  H01L21/6734 ,  H01L31/18

摘要： A method of supporting a plurality of planar substrates in a tube shaped furnace for conducting a thermal treatment process is disclosed. The method uses a boat fixture having a base frame including two length portions and a first width portion, a second width portion, and one or more middle members connected between the two length portions. Additionally, the method includes mounting a removable first grooved rod respectively on the first width portion, the second width portion, and each of the one or more middle members, each first grooved rod having a first plurality of grooves characterized by a first spatial configuration. The method further includes inserting one or two substrates of a plurality of planar substrates into each groove in the boat fixture separated by a distance.

摘要翻译： 公开了一种在管状炉中支撑多个平面基板以进行热处理工艺的方法。 该方法使用具有包括两个长度部分的基部框架和第一宽度部分，第二宽度部分以及连接在两个长度部分之间的一个或多个中间部件的船舶固定装置。 另外，该方法包括分别在第一宽度部分，第二宽度部分和一个或多个中间部件中的每一个上安装可拆卸的第一带槽杆，每个第一带槽杆具有以第一空间构造为特征的第一多个凹槽。 该方法还包括将多个平面基板中的一个或两个基板插入分隔开一定距离的船夹具中的每个凹槽中。