公开(公告)号：US07845214B2

公开(公告)日：2010-12-07

申请号：US12230340

申请日：2008-08-28

申请人： Jiong-Shiun Hsu ,  Hui-Ching Lu ,  Chung-Lin Wu ,  Sheng-Jui Chen

发明人： Jiong-Shiun Hsu ,  Hui-Ching Lu ,  Chung-Lin Wu ,  Sheng-Jui Chen

IPC分类号： G01N3/48

CPC分类号： G01N3/405 ,  G01N2203/0286 ,  G01N2203/0641 ,  G01Q60/366

摘要： This invention relates to a device and method for optical nanoindentation measurement, according to which respective measurement results are obtained by having an indenter tip apply load to a fixed portion of a thin film, having an indenter tip apply load to a non-fixed portion of a thin film, and having a vibrating component transmit the dynamic properties of the vibration to the thin film. By combining the above measurement results in calculations, the Young's modulus, the Poisson's ratio, and the density of the thin film can be obtained.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于光学纳米压痕测量的装置和方法，根据该装置和方法，通过将压头施加载荷施加到薄膜的固定部分上，获得各自的测量结果，该固定部分具有压头施加载荷到非固定部分 并且具有振动分量的薄膜将振动的动态特性传递给薄膜。 通过在计算中结合上述测量结果，可以获得杨氏模量，泊松比和薄膜的密度。

公开(公告)号：US20160131573A1

公开(公告)日：2016-05-12

申请号：US14711732

申请日：2015-05-13

申请人： Hui-Ching Lu

发明人： Hui-Ching Lu

IPC分类号： G01N21/03 ,  G01N33/487

CPC分类号： G01N21/0303 ,  G01N21/80 ,  G01N33/48778 ,  G01N2021/0389

摘要： A testing equipment with a magnifying function includes a carrier, a cover and a magnifying part. The carrier has a specimen holding area formed on the top of the carrier. The cover is stacked on the specimen holding area of the carrier. The magnifying part disposed on the cover. The location of the magnifying part is corresponding to the location of the specimen holding area. The testing equipment of the present application has a simplified and cheap structure for a simple specimen testing.

摘要翻译： 具有放大功能的测试设备包括载体，盖子和放大部件。 载体具有形成在载体顶部上的试样保持区域。 盖子堆叠在载体的样品保持区域上。 放置在盖子上的放大部件。 放大部件的位置对应于试样保持区域的位置。 本申请的测试设备具有简单且便宜的结构，用于简单的样品测试。

公开(公告)号：US20090165537A1

公开(公告)日：2009-07-02

申请号：US12230340

申请日：2008-08-28

申请人： Jiong-Shiun Hsu ,  Hui-Ching Lu ,  Chung-Lin Wu ,  Sheng-Jui Chen

发明人： Jiong-Shiun Hsu ,  Hui-Ching Lu ,  Chung-Lin Wu ,  Sheng-Jui Chen

IPC分类号： G01N3/48

CPC分类号： G01N3/405 ,  G01N2203/0286 ,  G01N2203/0641 ,  G01Q60/366

摘要： This invention relates to a device and method for optical nanoindentation measurement, according to which respective measurement results are obtained by having an indenter tip apply load to a fixed portion of a thin film, having an indenter tip apply load to a non-fixed portion of a thin film, and having a vibrating component transmit the dynamic properties of the vibration to the thin film. By combining the above measurement results in calculations, the Young's modulus, the Poisson's ratio, and the density of the thin film can be obtained.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于光学纳米压痕测量的装置和方法，根据该装置和方法，通过将压头施加载荷施加到薄膜的固定部分上，获得各自的测量结果，该固定部分具有压头施加载荷到非固定部分 并且具有振动分量的薄膜将振动的动态特性传递给薄膜。 通过在计算中结合上述测量结果，可以获得杨氏模量，泊松比和薄膜的密度。