公开(公告)号：US07684887B2

公开(公告)日：2010-03-23

申请号：US10427308

申请日：2003-04-30

申请人： Almuth Behrisch ,  Thomas Darnhofer-Demar ,  Hans-Peter Erb

发明人： Almuth Behrisch ,  Thomas Darnhofer-Demar ,  Hans-Peter Erb

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/41875 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/22

摘要： For monitoring production data, a grouping table in which machines are grouped into machine groups, machine components are grouped into machine component groups, chip manufacturing recipes are grouped into recipe groups or chip manufacturing parameters are grouped into parameter groups is used, whereby a considerable improvement in the comparability of the production data to be monitored is achieved.

摘要翻译： 为了监控生产数据，分组表将机器分组到机器组中，机器部件被分组成机器组件组，将芯片制造配方分组为配方组或将芯片制造参数分组到参数组中，从而有相当大的改进 在实现可监测的生产数据的可比性。