公开(公告)号：US4476386A

公开(公告)日：1984-10-09

申请号：US380865

申请日：1982-01-26

申请人： Alan F. Reid ,  Martin A. M. Zuiderwyk

发明人： Alan F. Reid ,  Martin A. M. Zuiderwyk

IPC分类号： G01N23/22 ,  G01N23/225 ,  H01J37/252 ,  G01N23/223

CPC分类号： H01J37/244 ,  G01N23/22 ,  G01N23/2252 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  G01N2223/053 ,  G01N2223/071 ,  G01N2223/079 ,  G01N2223/102 ,  G01N2223/402 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/605 ,  G01N2223/606 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24495

摘要： Method and apparatus for material analysis in which X-rays generated pursuant to incidence of an electron beam on the material are detected by a detector which generates signals representative of X-ray intensity. A first single analyzer is connected to receive the signals from the detector and to pass to an associated first counter a count signal whenever the signal applied to the first single channel analyzer is representative of an X-ray energy within a relatively narrow range of such energies. A second single channel analyzer is also connected to receive the signals from the detector and to pass to an associated second counter a count signal whenever the signal applied to the second analyzer is representative of an X-ray energy falling within a much broader range of such energies than the first mentioned range. The first and second counters accumulate the count signals applied thereto. The count in the second counter is compared by a comparator with a pre-established count in a third counter and when the count in the second counter assumes the same value as the count in the third counter the counts in the first and second counters are held. The so held count in the first counter then itself represents a normalized ratio of X-ray energy within the narrow range to the X-ray energy for the energy spectrum represented by the broad range of energies. On the basis of this normalized ratio information as to the makeup of the material can be derived.

摘要翻译： PCT No.PCT / AU81 / 00071 Sec。 371日期1982年1月26日 102（e）日期1982年1月26日PCT提交1981年6月10日PCT公布。 公开号WO81 / 03707 日期为1981年12月24日。材料分析方法和装置，其中通过产生表示X射线强度的信号的检测器检测根据材料上的电子束入射产生的X射线。 连接第一单分析器以接收来自检测器的信号，并且每当施加到第一单通道分析仪的信号代表在这种能量的相对较窄范围内的X射线能量时，每次将相应的第一计数器传递到计数信号 。 第二单通道分析仪也被连接以接收来自检测器的信号，并且每当施加到第二分析器的信号代表在这样的更宽范围内的X射线能量时，每次施加到第二计数器的计数信号 能量比第一个提到的范围。 第一和第二计数器累加施加到其上的计数信号。 第二计数器中的计数由具有在第三计数器中的预先建立的计数的比较器进行比较，并且当第二计数器中的计数采用与第三计数器中的计数相同的值时，保持第一和第二计数器中的计数 。 在第一个计数器中这样保持的数量本身就代表了由宽范围的能量表示的能谱范围内的窄范围内的X射线能量与X射线能量的归一化比率。 在这种归一化的比例信息的基础上，可以推导出材料的组成。