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    Device for processing an electrically conductive component
    11.
    发明申请
    Device for processing an electrically conductive component 失效
    用于处理导电部件的装置

    公开(公告)号：US20020096345A1

    公开(公告)日：2002-07-25

    申请号：US09996876

    申请日：2001-11-30

    发明人： Thomas Baumann ,  Albrecht Bock ,  Joerg Oesterheld

    IPC分类号： H05K009/00

    CPC分类号： B23Q3/1543 ,  B23Q3/154 ,  H02K15/00 ,  H02K15/12 ,  H02N15/00

    摘要： A device for processing an electrically conductive component includes positioning means that position the component to be processed in a processing position. The positioning means are provided with means for generating a magnetic field. The magnetic field generates forces that act contactless on the component and in this way bring about or support the positioning of the component.

    摘要翻译： 用于处理导电部件的装置包括定位装置，其将待加工的部件定位在处理位置。 定位装置设置有用于产生磁场的装置。 磁场产生在部件上不接触地作用的力，并且以这种方式产生或支持部件的定位。

    Electrostatic wafer chucks and charged-particle-beam exposure apparatus comprising same
    12.
    发明申请
    Electrostatic wafer chucks and charged-particle-beam exposure apparatus comprising same 失效
    静电晶片卡盘和包含该静电晶片卡盘的带电粒子束曝光设备

    公开(公告)号：US20020067585A1

    公开(公告)日：2002-06-06

    申请号：US09884187

    申请日：2001-06-18

    申请人： Nikon Corporation

    发明人： Tomoharu Fujiwara

    IPC分类号： H02N013/00

    CPC分类号： B23Q3/154 ,  H01L21/6833 ,  H01L21/6838 ,  H02N13/00

    摘要： Electrostatic wafer chucks are disclosed for use in holding a substrate (e.g., semiconductor wafer) during processing of the substrate in a vacuum chamber or other reduced-pressure environment. A representative wafer chuck provides improved control of the vacuum level in the vacuum environment while providing a mechanism (lift pins) for raising and lowering the substrate relative to the chuck. 1. The chuck body defines a wafer-mounting surface that contacts the under-surface of the substrate. The chuck body defines a gap between the under-surface of the substrate and the chuck for conducting a heat-transfer gas, and multiple feed-through holes extending through the chuck body. Surrounding each feed-through hole is at least a first protrusion configured to separate the respective feed-through hole from the gap. A respective lift pin in each feed-through hole extends from the chuck body across the gap to the under-surface of the substrate. The lift pins can move relative to the chuck body to lift the substrate relative to the wafer-mounting surface. The protrusions surrounding the feed-through holes prevent passage of heat-transfer gas through the feed-through holes.

    摘要翻译： 公开了用于在真空室或其它减压环境中处理基板期间保持基板（例如，半导体晶片）的静电晶片卡盘。 代表性的晶片卡盘提供对真空环境中的真空水平的改进​​的控制，同时提供用于相对于卡盘升高和降低基板的机构（提升销）。 卡盘体限定了与基板的下表面接触的晶片安装表面。 卡盘体在衬底的下表面和用于传导传热气体的卡盘之间限定一个间隙，以及延伸穿过卡盘体的多个通孔。 每个馈通孔周围是至少一个第一突起，其被配置为将相应的馈通孔与间隙分开。 每个馈通孔中的相应提升销从卡盘体穿过间隙延伸到基板的下表面。 提升销可以相对于卡盘主体移动以相对于晶片安装表面提升基板。 馈通孔周围的突起阻止传热气体通过馈通孔。

    Switching apparatus for changing the absolute value and the permanent magnetization direction of ferromagnetic bodies, e.g. of permanent magnets
    13.
    发明授权
    Switching apparatus for changing the absolute value and the permanent magnetization direction of ferromagnetic bodies, e.g. of permanent magnets 失效
    用于改变铁磁体的绝对值和永久磁化方向的开关装置，例如， 的永久磁铁

    公开(公告)号：US4497011A

    公开(公告)日：1985-01-29

    申请号：US459601

    申请日：1983-01-13

    申请人： Karl Hurtig

    发明人： Karl Hurtig

    IPC分类号： B23Q3/154 ,  H01F13/00 ,  H01H47/30

    CPC分类号： B23Q3/154 ,  H01F13/00

    摘要： A switching unit (1) for changing the polarity or the magnetic field-strength of ferromagnetic bodies, for example of permanent-magnet clamping devices, possesses a series-arrangement comprising at least one coil (3) which is suitable for receiving ferromagnetic bodies (6), a controllable electronic switch, and an energy-storage system (10). The object is to provide a compact switching unit which switches reliably and which possesses a simple electrical circuit. This object is achieved by means of a switching unit which comprises an electronic switch, in the form of a flashlamp (2).

    摘要翻译： PCT No.PCT / DE82 / 00096 Sec。 371日期1983年1月13日 102（e）日期1983年1月13日PCT提交1982年5月5日PCT公布。 公开号WO82 / 04160 日期：1982年11月25日。用于改变例如永磁体夹紧装置的铁磁体的极性或磁场强度的开关单元（1）具有包括至少一个线圈（3）的串联装置， 适用于接收铁磁体（6），可控电子开关和储能系统（10）。 本发明的目的是提供一种紧凑的开关单元，其可靠地开关并且具有简单的电路。 该目的通过一种开关单元实现，该开关单元包括闪光灯（2）形式的电子开关。

    MAGNET, ATTACHING DEVICE, ATTACHING ARRANGEMENT AND METHOD FOR ATTACHING TO AN OBJECT
    19.
    发明申请
    MAGNET, ATTACHING DEVICE, ATTACHING ARRANGEMENT AND METHOD FOR ATTACHING TO AN OBJECT 审中-公开
    磁铁，连接装置，连接装置和连接对象的方法

    公开(公告)号：US20150116062A1

    公开(公告)日：2015-04-30

    申请号：US14117522

    申请日：2012-05-25

    申请人： Reijo Natti ,  Janne Pulkkinen

    发明人： Reijo Natti ,  Janne Pulkkinen

    IPC分类号： H01F7/06 ,  H01F7/02

    CPC分类号： B23Q3/1546 ,  B23Q3/154 ,  B23Q3/1543 ,  H01F7/0226 ,  H01F7/0273 ,  H01F7/064 ,  H01F7/206 ,  H01F2007/208 ,  Y10T29/49998

    摘要： The invention relates to a magnet, which comprises a first permanent magnet for creating a magnetic field, and a shell and a centre, which are arranged to guide a magnetic flux to an object to be gripped. The magnet further comprises a slide, which is arranged to be movable in relation to the shell and the centre, which slide comprises said first permanent magnet, and an electric magnet for moving the slide. The invention also relates to an attaching device, and attaching arrangement and a method for attaching to an object.

    摘要翻译： 本发明涉及一种磁体，其包括用于产生磁场的第一永久磁体，以及壳体和中心，其被布置成将磁通量引导到待夹持的物体。 磁体还包括滑动件，其被布置成相对于壳体和中心可移动，该滑动件包括所述第一永久磁体和用于移动滑块的电磁体。 本发明还涉及一种附接装置，以及附接装置和一种用于附接到物体的方法。

    ATTACHING DEVICE, ATTACHING ARRANGEMENT AND METHOD FOR ATTACHING AN OBJECT TO BE WORKED TO A WORKING BASE
    20.
    发明申请
    ATTACHING DEVICE, ATTACHING ARRANGEMENT AND METHOD FOR ATTACHING AN OBJECT TO BE WORKED TO A WORKING BASE 有权
    连接装置，连接装置和将对象连接到工作基础的方法

    公开(公告)号：US20130055551A1

    公开(公告)日：2013-03-07

    申请号：US13698557

    申请日：2011-05-25

    申请人： Reijo Nätti ,  Janne Pulkkinen

    发明人： Reijo Nätti ,  Janne Pulkkinen

    IPC分类号： B23Q3/15 ,  H01F7/02 ,  H01F5/00

    CPC分类号： B23Q3/1546 ,  B23Q3/154 ,  B23Q3/1543 ,  H01F7/0226 ,  H01F7/0273 ,  H01F7/064 ,  H01F7/206 ,  H01F2007/208 ,  Y10T29/49998

    摘要： The invention relates to an attaching device, an arrangement and a method for attaching an object to be worked to a working base. The attaching device comprises: a first holder in the first end of the attaching device for attaching the attaching device to the working base or to another attaching device or to the object to be worked; a second holder in the second end of the attaching device for attaching the attaching device to the working base or to another attaching device or to the object to be worked; and a controller for controlling the holding forces produced by the first and second holders.

    摘要翻译： 本发明涉及一种用于将待加工物体附接到工作基座的附接装置，装置和方法。 所述安装装置包括：所述安装装置的第一端的第一保持件，用于将所述安装装置附接到所述工作基座或附接装置或与所述加工对象物接合; 在附接装置的第二端的第二保持器，用于将附接装置附接到工作基座或另一附接装置或与待加工物体相连接; 以及用于控制由第一和第二保持器产生的保持力的控制器。